| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 引言 | 第8-17页 |
| 1.1 课题研究背景和研究意义 | 第8-10页 |
| 1.2 非球面检测技术概述 | 第10-13页 |
| 1.2.1 非球面方程 | 第10-11页 |
| 1.2.2 非球面检测技术 | 第11-13页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第13-16页 |
| 1.3.1 国外研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3.2 国内研究现状 | 第14-16页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 测头半径补偿模型 | 第17-26页 |
| 2.1 常见的测头半径补偿模型 | 第17-19页 |
| 2.1.1 微平面法 | 第17-18页 |
| 2.1.2 三角网格法 | 第18页 |
| 2.1.3 三点共圆 | 第18-19页 |
| 2.2 四点共球基本原理 | 第19-22页 |
| 2.2.1 凹面 | 第20页 |
| 2.2.2 凸面 | 第20-21页 |
| 2.2.3 平面 | 第21-22页 |
| 2.3 采样方式与路径 | 第22-23页 |
| 2.4 补偿过程 | 第23-25页 |
| 2.5 本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 四点共球模型误差分析 | 第26-36页 |
| 3.1 四点共球模型误差概述 | 第26-27页 |
| 3.2“井”式采样路径下误差分析 | 第27-31页 |
| 3.2.1 采样间距对误差影响 | 第27-28页 |
| 3.2.2 非球面曲率半径R0、k值对误差影响 | 第28-31页 |
| 3.3“蝴蝶结”式采样路径下误差分析 | 第31-33页 |
| 3.3.1 采样间距、非球面曲率半径R0、k值对误差影响 | 第31-33页 |
| 3.4 两种采样路径所需时间 | 第33-34页 |
| 3.5 本章小结 | 第34-36页 |
| 第四章 模拟消除误差 | 第36-43页 |
| 4.1 去倾斜 | 第36-40页 |
| 4.2 偏心 | 第40-41页 |
| 4.3 模拟消除误差流程图 | 第41-42页 |
| 4.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第五章 总结与展望 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-47页 |
| 攻读学位期间公开发表的论文及参加的学术会议 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48-50页 |