低功耗全内反射型热光开关的研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第13-25页 |
| 1.1 光开关的应用及研究意义 | 第13-15页 |
| 1.2 光开关的分类 | 第15-18页 |
| 1.3 光开关的参数及指标 | 第18-20页 |
| 1.4 全内反射型热光开关的研究现状 | 第20-23页 |
| 1.5 本论文的研究目的和工作内容 | 第23-25页 |
| 第二章 全内反射型热光开关的设计 | 第25-48页 |
| 2.1 开关的基本设计 | 第25-28页 |
| 2.1.1 氮氧化硅/聚合物材料的性质和应用 | 第25-26页 |
| 2.1.2 X结型热光开关的基本结构 | 第26-28页 |
| 2.1.3 热光效应 | 第28页 |
| 2.2 矩形波导理论 | 第28-32页 |
| 2.3 全内反射与均匀介质膜 | 第32-38页 |
| 2.3.1 全内反射 | 第33-36页 |
| 2.3.2 均匀介质膜 | 第36-38页 |
| 2.4 光开关性能的分析 | 第38-45页 |
| 2.4.1 开关处于Bar态时的传输特性 | 第39-41页 |
| 2.4.2 开关处于Cross态时的传输特性 | 第41-45页 |
| 2.5 X结处展宽波导的使用 | 第45-47页 |
| 2.6 本章小结 | 第47-48页 |
| 第三章 全内反射型热光开关的制作工艺 | 第48-61页 |
| 3.1 光刻掩膜版的设计 | 第48-50页 |
| 3.1.1 波导图案的掩膜版设计 | 第48-49页 |
| 3.1.2 电极图案的掩膜版设计 | 第49-50页 |
| 3.2 光开关的制作工艺 | 第50-58页 |
| 3.2.1 清洗与镀膜 | 第50-52页 |
| 3.2.2 图案的制作与转移 | 第52-54页 |
| 3.2.3 刻蚀与制作包层 | 第54-58页 |
| 3.3 加热电极的制作 | 第58-60页 |
| 3.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第四章 全内反射型热光开关的性能测试 | 第61-68页 |
| 4.1 通光测试与传输损耗 | 第61-63页 |
| 4.2 器件性能测试 | 第63-66页 |
| 4.3 测试分析以及工艺优化 | 第66-67页 |
| 4.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 总结与展望 | 第68-70页 |
| 5.1 总结 | 第68-69页 |
| 5.2 存在的不足与展望 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 硕士研究生期间取得的研究成果 | 第74页 |
