| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-29页 |
| 1.1 柔性电子学 | 第9-13页 |
| 1.1.1 柔性电子学器件 | 第9-10页 |
| 1.1.2 柔性磁性薄膜与器件 | 第10-13页 |
| 1.2 磁阻式随机存储器 | 第13-14页 |
| 1.3 磁性材料的磁各向异性 | 第14-22页 |
| 1.3.1 磁性材料的磁各向异性以及分类 | 第14-15页 |
| 1.3.2 调控磁性材料磁各向异性的方法 | 第15-19页 |
| 1.3.3 柔性磁性薄膜磁各向异性调控的研究现状 | 第19-22页 |
| 1.4 磁滞伸缩材料及应用 | 第22-26页 |
| 1.4.1 磁滞伸缩效应 | 第22-24页 |
| 1.4.2 常见的磁滞伸缩材料 | 第24页 |
| 1.4.3 磁滞伸缩效应的应用 | 第24-26页 |
| 1.5 本论文的意义以及主要研究内容 | 第26-29页 |
| 1.5.1 选题背景 | 第26页 |
| 1.5.2 主要内容 | 第26-29页 |
| 2 实验方法与表征 | 第29-37页 |
| 2.1 磁控溅射法制备磁性薄膜 | 第29-30页 |
| 2.2 样品表征方法 | 第30-33页 |
| 2.2.1 振动样品磁强计 | 第30-32页 |
| 2.2.2 磁光克尔效应测试系统(MOKE) | 第32-33页 |
| 2.3 X射线衍射分析 | 第33页 |
| 2.4 原子力显微镜表征薄膜表面形貌 | 第33-37页 |
| 3 弯曲生长调控柔性CoFeB磁性薄膜的磁各向异性 | 第37-45页 |
| 3.1 引言 | 第37-38页 |
| 3.2 基于柔性衬底的非晶CoFeB磁性薄膜的制备 | 第38-39页 |
| 3.3 不同因素对磁各向异性调控的影响 | 第39-43页 |
| 3.4 大规模制备磁各向异性可控的柔性磁性薄膜的制备 | 第43-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 4 应力/应变不敏感薄膜的制备与物性研究 | 第45-55页 |
| 4.1 引言 | 第45-46页 |
| 4.2 基于柔性衬底的不同CoFeB磁性薄膜的制备与物性研究 | 第46-48页 |
| 4.3 不同制备条件的柔性磁性薄膜磁各向异性的研究 | 第48-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 5 总结和展望 | 第55-57页 |
| 5.1 论文总结 | 第55页 |
| 5.2 展望 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 附录 攻读学位期间发表的论文 | 第63页 |
