| 中文摘要 | 第3-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 课题的研究背景及意义 | 第8-10页 |
| 1.1.1 SF_6气体及其应用 | 第8-9页 |
| 1.1.2 SF_6的温室效应 | 第9-10页 |
| 1.2 SF_6的处理方法 | 第10-14页 |
| 1.3 介质阻挡放电等离子体降解SF_6的研究现状 | 第14-16页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第16-18页 |
| 2 介质阻挡放电等离子体降解SF_6的基本理论 | 第18-28页 |
| 2.1 等离子体概述 | 第18页 |
| 2.2 介质阻挡放电 | 第18-21页 |
| 2.2.1 介质阻挡放电的基本特性 | 第18-21页 |
| 2.2.2 介质阻挡放电的物理过程 | 第21页 |
| 2.3 介质阻挡放电的主要参量 | 第21-25页 |
| 2.3.1 介质阻挡放电反应器的等效电路 | 第22-24页 |
| 2.3.2 介质阻挡放电的电场强度 | 第24-25页 |
| 2.3.3 介质阻挡放电的放电功率 | 第25页 |
| 2.4 介质阻挡放电等离子体降解SF_6机理 | 第25-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 3 实验平台的搭建与实验方法 | 第28-44页 |
| 3.1 实验平台 | 第28-37页 |
| 3.1.1 配气系统 | 第28-29页 |
| 3.1.2 电源系统 | 第29-31页 |
| 3.1.3 SF_6降解系统 | 第31页 |
| 3.1.4 电学测量系统 | 第31-32页 |
| 3.1.5 分析检测系统 | 第32-37页 |
| 3.2 介质阻挡放电参量测量 | 第37-41页 |
| 3.2.1 放电电压、电流波形的测量 | 第37-38页 |
| 3.2.2 放电功率的测量与计算 | 第38-41页 |
| 3.3 实验步骤 | 第41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-44页 |
| 4 介质阻挡放电等离子体降解SF_6实验结果及分析 | 第44-64页 |
| 4.1 背景气体对降解SF_6的影响 | 第44-48页 |
| 4.1.1 不同背景气体下的介质阻挡放电特性 | 第45-46页 |
| 4.1.2 不同背景气体下SF_6的降解率 | 第46-48页 |
| 4.2 电源频率对降解SF_6的影响 | 第48-52页 |
| 4.2.1 不同电源频率下介质阻挡放电特性 | 第48-50页 |
| 4.2.2 不同电源频率下SF_6的降解率 | 第50-52页 |
| 4.3 输入功率对降解SF_6的影响 | 第52-54页 |
| 4.3.1 不同输入功率下SF_6的降解率 | 第52-53页 |
| 4.3.2 不同输入功率下的电源利用效率 | 第53-54页 |
| 4.4 外加气体对降解SF_6的影响 | 第54-61页 |
| 4.4.1 氧气对降解SF_6的影响 | 第54-56页 |
| 4.4.2 氢气对降解SF_6的影响 | 第56-58页 |
| 4.4.3 水汽对降解SF_6的影响 | 第58-59页 |
| 4.4.4 降解产物分析 | 第59-61页 |
| 4.5 本章小结 | 第61-64页 |
| 5 结论与展望 | 第64-66页 |
| 5.1 主要结论 | 第64-65页 |
| 5.2 后续研究工作展望 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-74页 |
| 附录 | 第74页 |
| A. 作者在攻读学位期间发表的学术论文 | 第74页 |
| B. 在读期间申报和授权的发明专利 | 第74页 |
| C. 在读期间参与的科研课题 | 第74页 |