基于广义椭偏仪的纳米结构测量理论与方法研究

摘要	第4-6页
Abstract	第6-7页
1 绪论	第10-20页
1.1 课题概述	第10-12页
1.2 纳米结构测量技术研究现状及发展趋势	第12-18页
1.3 本文主要研究工作	第18-20页
2 纳米结构光学特性建模理论	第20-40页
2.1 引言	第20-21页
2.2 典型纳米结构的严格耦合波建模理论	第21-29页
2.3 考虑退偏效应的纳米结构光学特性建模	第29-33页
2.4 典型纳米结构光学特性建模仿真分析	第33-39页
2.5 本章小结	第39-40页
3 纳米结构参数快速鲁棒提取方法	第40-54页
3.1 引言	第40-42页
3.2 基于广义椭偏仪的纳米结构测量中的逆问题	第42-43页
3.3 基于拟合误差插值的库匹配方法	第43-45页
3.4 基于修正的库匹配方法	第45-47页
3.5 纳米结构参数提取仿真实验	第47-53页
3.6 本章小结	第53-54页
4 纳米结构测量误差分析与测量条件配置优化	第54-66页
4.1 引言	第54-56页
4.2 误差来源及分类	第56-57页
4.3 误差传递与评估	第57-60页
4.4 测量条件配置优化	第60-61页
4.5 误差传递与评估仿真实验	第61-64页
4.6 本章小结	第64-66页
5 基于广义椭偏仪的纳米结构测量实验研究	第66-88页
5.1 引言	第66-67页
5.2 基于广义椭偏仪的纳米结构测量实验平台	第67-74页
5.3 纳米结构参数快速鲁棒提取实验研究	第74-77页
5.4 广义椭偏仪测量条件配置优化实验研究	第77-82页
5.5 考虑退偏效应的纳米结构参数提取实验研究	第82-86页
5.6 本章小结	第86-88页
6 总结与展望	第88-91页
6.1 全文总结	第88-89页
6.2 研究展望	第89-91页
参考文献	第91-99页
致谢	第99-100页
附录1 攻读学位期间发表的学术论文	第100-101页
附录2 攻读学位期间申请的国家发明专利	第101页