| 致谢 | 第1-7页 |
| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-13页 |
| 1 绪论 | 第13-35页 |
| ·微机电系统简介 | 第13-15页 |
| ·微散热器简介 | 第15-33页 |
| ·微流道散热器 | 第17页 |
| ·微喷雾冷却 | 第17-18页 |
| ·微型制冷器 | 第18-19页 |
| ·微热管均热片 | 第19-21页 |
| ·微热管的发展进程 | 第21-26页 |
| ·微热管的工作原理 | 第26-29页 |
| ·限制微热管工作的因素 | 第29-31页 |
| ·微热管的性能评价 | 第31-33页 |
| ·课题主要意义和研究内容 | 第33-34页 |
| ·课题研究意义 | 第33页 |
| ·课题研究内容 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 2 动脉管加强型硅基微热管的毛细驱动建模和数学分析 | 第35-49页 |
| ·动脉管的工作原理 | 第39-40页 |
| ·微热管的工作原理 | 第40-41页 |
| ·边界条件 | 第41页 |
| ·无量纲化 | 第41-42页 |
| ·数学处理 | 第42-43页 |
| ·数值解 | 第43-48页 |
| ·在输入不同热量的条件下微热管中液体的工作状态 | 第43-45页 |
| ·在注入不同量的液体的情况下微热管中液体的工作状态 | 第45-47页 |
| ·动脉管的优化设计 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 3 微热管热传递及蒸汽压力分布计算 | 第49-57页 |
| ·微热管热传递仿真 | 第50-53页 |
| ·微热管内部蒸汽压力分布计算 | 第53-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 4 硅基微热管的加工工艺研究 | 第57-70页 |
| ·动脉管加强型微热管尺寸设计 | 第57页 |
| ·加工工艺设计 | 第57-58页 |
| ·硅片湿法刻蚀 | 第58-63页 |
| ·薄膜沉积 | 第59页 |
| ·光刻掩模制作 | 第59-60页 |
| ·光刻 | 第60-61页 |
| ·腐蚀 | 第61-63页 |
| ·阳极键合 | 第63-66页 |
| ·注液和密封 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 5 液体接触角对微流体器件的影响 | 第70-77页 |
| ·利用接触角变化驱动的微流体器件 | 第71-73页 |
| ·电浸润导致接触角梯度变化引导的液滴运动 | 第71-73页 |
| ·热蒸发导致液体界面毛细压力差引导的液体流动 | 第73页 |
| ·接触角测量 | 第73-75页 |
| ·接触角对微热管工作的影响计算 | 第75-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 6 测温试验平台设计 | 第77-80页 |
| 7 微热管工作状态观测实验 | 第80-88页 |
| ·额定工况下的工作状态 | 第80-82页 |
| ·临界工况下的工作状态 | 第82-87页 |
| ·液塞 | 第83-85页 |
| ·沸腾 | 第85-87页 |
| ·本章小结 | 第87-88页 |
| 8 动脉管加强型微热管热性能测试 | 第88-91页 |
| ·动脉加强型微热管均热性能测试 | 第88-90页 |
| ·本章小结 | 第90-91页 |
| 9 课题的基础性、系统性、工程性、创新性 | 第91-93页 |
| ·基础性 | 第91页 |
| ·系统性 | 第91页 |
| ·工程性 | 第91页 |
| ·创新性 | 第91-93页 |
| 10 结论与展望 | 第93-95页 |
| 参考文献 | 第95-108页 |
| 攻读博士学位期间主要的研究成果及荣誉 | 第108页 |