| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-24页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·纳米复合膜 | 第14-17页 |
| ·纳米复合膜的基本概念及分类 | 第14-15页 |
| ·纳米复合膜的研究现状 | 第15-16页 |
| ·纳米复合膜的致硬机理研究 | 第16-17页 |
| ·纳米多层膜 | 第17-20页 |
| ·纳米多层膜的基本概念 | 第17页 |
| ·纳米多层膜的分类 | 第17-19页 |
| ·纳米多层膜的致硬机理研究 | 第19-20页 |
| ·摩擦磨损的基础理论 | 第20-22页 |
| ·摩擦的基本概念和分类 | 第20-21页 |
| ·干摩擦学特性主要表征参数 | 第21页 |
| ·磨损机理 | 第21-22页 |
| ·选题意义与研究内容 | 第22-24页 |
| ·选题意义 | 第22-23页 |
| ·研究内容 | 第23-24页 |
| 第2章 薄膜的制备与测试 | 第24-32页 |
| ·溅射镀膜原理与实验设备 | 第24-29页 |
| ·溅射镀膜原理 | 第24-27页 |
| ·实验设备 | 第27-28页 |
| ·基片处理 | 第28页 |
| ·高温退火实验 | 第28-29页 |
| ·薄膜检测设备及检测方法 | 第29-32页 |
| ·X 射线衍射(XRD) | 第29页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第29-30页 |
| ·能量色散谱仪 | 第30页 |
| ·MM-6 显微硬度测试仪 | 第30-31页 |
| ·高温摩擦磨损测试仪 | 第31页 |
| ·薄膜厚度的测量 | 第31-32页 |
| 第3章 Ti-Al-N 复合膜制备和性能研究 | 第32-44页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·实验过程 | 第32-33页 |
| ·实验结果与讨论 | 第33-43页 |
| ·Ti-Al-N 复合膜中Al 的含量 | 第33-34页 |
| ·Al 含量对Ti-Al-N 复合膜微结构的影响 | 第34-36页 |
| ·Al 含量对Ti-Al-N 复合膜显微硬度的影响 | 第36-37页 |
| ·Ti-Al-N 复合膜的高温抗氧化性 | 第37-38页 |
| ·Al 含量对Ti-Al-N 复合膜摩擦磨损性能的影响 | 第38-43页 |
| ·本章小节 | 第43-44页 |
| 第4章 Ti-Al-V-N 复合膜的微结构和性能研究 | 第44-57页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·实验方法 | 第44-45页 |
| ·结果与讨论 | 第45-55页 |
| ·Ti-Al-V-N 复合膜中的V 含量 | 第45-46页 |
| ·V 含量对Ti-Al-V-N 复合膜微结构的影响 | 第46-47页 |
| ·V 含量对Ti-Al-V-N 复合膜硬度的影响 | 第47-48页 |
| ·V 含量对Ti-Al-V-N 复合膜的高温抗氧化性能的影响 | 第48-52页 |
| ·V 含量对Ti-Al-V-N 薄膜的抗摩擦磨损性能的影响 | 第52-55页 |
| ·本章小节 | 第55-57页 |
| 第5章 Ti-Al-N/VN 纳米多层膜微结构与力学性能研究 | 第57-69页 |
| ·引言 | 第57页 |
| ·实验方法 | 第57-59页 |
| ·Ti-Al-N 和VN 单层膜的沉积速率 | 第57-58页 |
| ·Ti-Al-N/VN 多层膜的制备 | 第58-59页 |
| ·实验结果与分析 | 第59-68页 |
| ·单层Ti-Al-N、VN 薄膜 | 第59-60页 |
| ·Ti-Al-N/VN 纳米多层膜的微结构 | 第60-61页 |
| ·Ti-Al-N/VN 纳米多层膜的力学性能 | 第61页 |
| ·Ti-Al-N/VN 纳米多层膜的致硬机理的讨论 | 第61-64页 |
| ·调制周期对Ti-Al-N/VN 多层膜的摩擦磨损性能的影响 | 第64-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 结论 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
