摘要 | 第4-5页 |
Abstract | 第5页 |
1 绪论 | 第9-24页 |
1.1 前言 | 第9页 |
1.2 等离子体的产生方式 | 第9-13页 |
1.2.1 介质阻挡放电 | 第10-11页 |
1.2.2 大气压下介质阻挡放电的分类极其机理 | 第11-13页 |
1.3 等离子体诊断 | 第13-23页 |
1.3.1 郎缪尔探针 | 第13-14页 |
1.3.2 光谱法 | 第14-21页 |
1.3.2.1 发射光谱法(Optical Emission Spectroscopy, OES) | 第14-18页 |
1.3.2.2 激光诱导荧光(Laser Induced Fluorescence, LIF) | 第18-19页 |
1.3.2.3 速度调制激光光谱技术(Velocity Modulation Laser Spectroscopy, VMLS) | 第19-21页 |
1.3.3 其他等离子体诊断方法 | 第21-23页 |
1.3.3.1 分子束质谱法(Molecular Beam Mass Spectroscopy) | 第21-22页 |
1.3.3.2 电子自旋共振吸收(ESR) | 第22-23页 |
1.3.3.3 能谱 | 第23页 |
1.4 本论文的主要研究工作 | 第23-24页 |
2 实验装置和实验过程 | 第24-26页 |
2.1 实验装置 | 第24-25页 |
2.1.1 配气系统 | 第24页 |
2.1.2 介质阻挡放电系统 | 第24-25页 |
2.1.3 发射光谱测量系统 | 第25页 |
2.1.4 尾气分析系统 | 第25页 |
2.2 实验过程简述 | 第25-26页 |
2.2.1 平衡气N_2大气压介质阻挡放电等离子体发射光谱诊断 | 第25页 |
2.2.2 NO/N_2、O_2/N_2和NO/O_2/N_2体系介质阻挡放电等离子体诊断 | 第25页 |
2.2.3 NO/C_nH_m/N_2、C_nH_m/O_2/N_2和NO/C_nH_m/O_2/N_2体系介质阻挡放电等离子体发射光谱诊断 | 第25-26页 |
3 N_2大气压介质阻挡放电等离子体发射光谱诊断 | 第26-30页 |
3.1 前言 | 第26页 |
3.2 实验结果与讨论 | 第26-30页 |
3.2.1 N_2大气压介质阻挡放电等离子体的发射光谱 | 第26-28页 |
3.2.2 小结 | 第28-30页 |
4 介质阻挡放电NO/N_2,O_2/N_2,NO/O_2/N_2体系等离子体诊断研究 | 第30-39页 |
4.1 NO/N_2体系介质阻挡放电等离子体诊断 | 第30-35页 |
4.1.1 NO/N_2体系介质阻挡放电等离子体脱除氮氧化物的质谱分析 | 第30-31页 |
4.1.2 NO/N_2体系介质阻挡放电等离子体的发射光谱 | 第31-32页 |
4.1.3 NO/N_2体系介质阻挡放电等离子体脱除氮氧化物机理探讨 | 第32-35页 |
4.2 O_2/N_2体系介质阻挡放电等离子体发射光谱诊断研究 | 第35-36页 |
4.2.1 O_2/N_2体系介质阻挡放电的等离子体诊断 | 第35-36页 |
4.2.2 O_2/N_2体系介质阻挡放电等离子体中的反应机制 | 第36页 |
4.3 NO/O_2/N_2体系介质阻挡放电等离子体发射光谱诊断研究 | 第36-37页 |
4.4 小结 | 第37-39页 |
5 富氧条件下利用碳氢化合物脱除NO的等离子体发射光谱初步诊断研究 | 第39-55页 |
5.1 前言 | 第39页 |
5.2 CH_4介质阻挡放电等离子体发射光谱诊断研究 | 第39-43页 |
5.2.1 CH_4/He、CH_4/N_2体系介质阻挡放电等离子体的发射光谱 | 第39-41页 |
5.2.2 NO/CH_4/N_2体系介质阻挡放电等离子体的发射光谱 | 第41-42页 |
5.2.3 CH/O_2/N_2体系介质阻挡放电等离子体的发射光谱 | 第42-43页 |
5.2.4 NO/CH_4/O_2/N_2体系介质阻挡放电等离子体的发射光谱 | 第43页 |
5.3 C_2H_2介质阻挡放电等离子体发射光谱诊断研究 | 第43-48页 |
5.3.1 C_2H_2/He、C_2H_2/N_2体系介质阻挡放电等离子体的发射光谱 | 第43-45页 |
5.3.2 NO/C_2H_2/N_2体系介质阻挡放电等离子体的发射光谱 | 第45-46页 |
5.3.3 C_2H_2/O_2/N_2体系介质阻挡放电等离子体的发射光谱 | 第46-47页 |
5.3.4 NO/C_2H_2/O_2/N_2体系介质阻挡放电等离子体的发射光谱 | 第47-48页 |
5.4 C_2H_4介质阻挡放电等离子体发射光谱诊断研究 | 第48-52页 |
5.4.1 C_2H_4/He、C_2H_4/N_2体系介质阻挡放电等离子体的发射光谱 | 第48-49页 |
5.4.2 NO/C_2H_4/N_2体系介质阻挡放电等离子体的发射光谱 | 第49-50页 |
5.4.3 C_2H_4/O_2/N_2体系介质阻挡放电等离子体的发射光谱 | 第50-51页 |
5.4.4 NO/C_2H_4/O_2/N_2体系介质阻挡放电等离子体的发射光谱 | 第51-52页 |
5.5 小结 | 第52-55页 |
参考文献 | 第55-62页 |
攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第62-63页 |
致谢 | 第63-64页 |
大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第64页 |