| 摘要 | 第5-8页 |
| ABSTRACT | 第8-11页 |
| 目录 | 第12-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-41页 |
| 1.1 等离子体简介 | 第15-20页 |
| 1.2 等离子体技术的应用 | 第20-22页 |
| 1.3 低温等离子体的产生 | 第22-39页 |
| 1.3.1 直流放电 | 第23-26页 |
| 1.3.2 介质阻挡放电 | 第26-28页 |
| 1.3.3 容性放电 | 第28-33页 |
| 1.3.4 感性放电 | 第33-35页 |
| 1.3.5 波加热的气体放电 | 第35-39页 |
| 1.4 本文主要内容 | 第39-41页 |
| 第二章 微波诊断方法介绍 | 第41-53页 |
| 2.1 电磁波在等离子体中的传播 | 第41-45页 |
| 2.2 等离子体微波诊断方法 | 第45-53页 |
| 2.2.1 无碰撞时的相位测量-等离子体电子密度诊断 | 第47-48页 |
| 2.2.2 碰撞不能忽略时的幅度相位测量-等离子体电子密度、碰撞频率诊断 | 第48-49页 |
| 2.2.3 双频点幅度测量-等离子体电子密度、碰撞频率诊断 | 第49-50页 |
| 2.2.4 时间法测量-等离子体电子密度诊断 | 第50-53页 |
| 第三章 射频电感耦合等离子体中的E←→H模式转变 | 第53-83页 |
| 3.1 理论概述 | 第53-64页 |
| 3.1.1 等离子体吸收功率 | 第55-58页 |
| 3.1.2 等离子体耗散功率 | 第58-60页 |
| 3.1.3 滞回线产生原因之一：等离子体吸收功率和耗散功率的非线性 | 第60页 |
| 3.1.4 滞回线产生原因之二：阻抗匹配效应 | 第60-63页 |
| 3.1.5 反常滞回线 | 第63-64页 |
| 3.2 实验设计 | 第64-66页 |
| 3.3 实验结果及讨论 | 第66-81页 |
| 3.3.1 内电极放电实验结果 | 第66-76页 |
| 3.3.2 外电极放电实验结果 | 第76-78页 |
| 3.3.3 外电极放电和内电极放电转变点比较 | 第78-81页 |
| 3.4 小结 | 第81-83页 |
| 第四章 内、外电极放电与等离子体的密度分布 | 第83-97页 |
| 4.1 内、外电极ICP放电实验 | 第83-89页 |
| 4.1.1 h=7cm和h=13cm处,外电极和内电极ICP放电结果 | 第84-87页 |
| 4.1.2 h=29cm处,外电极ICP放电结果 | 第87-89页 |
| 4.2 有限元法模拟 | 第89-96页 |
| 4.2.1 COMSOL Multiphysics软件介绍及模型建立 | 第89-91页 |
| 4.2.2 纯氩气放电模拟结果及讨论 | 第91-95页 |
| 4.2.3 三维纯氩放电模型的尝试 | 第95-96页 |
| 4.3 小结 | 第96-97页 |
| 第五章 多电感组合放电与等离子体对电磁波传输的影响 | 第97-113页 |
| 5.1 多电感组合ICP放电实验 | 第97-100页 |
| 5.2 夹层腔顶部等离子体对微波衰减的效果 | 第100-110页 |
| 5.2.1 5.0-7.0GHz扫频测量 | 第101-105页 |
| 5.2.2 9.0-12.0GHz扫频测量 | 第105-108页 |
| 5.2.3 点频测量 | 第108-110页 |
| 5.3 小结 | 第110-113页 |
| 第六章 总结与展望 | 第113-117页 |
| 6.1 研究内容总结及创新点 | 第113-115页 |
| 6.2 未来工作的展望 | 第115-117页 |
| 参考文献 | 第117-131页 |
| 附录A | 第131-135页 |
| 致谢 | 第135-137页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的研究成果 | 第137-138页 |
