| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-16页 |
| 1.2.1 差动共焦系统的发展 | 第9-13页 |
| 1.2.2 国际标准化工作的发展概况 | 第13-16页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 差动共焦显微成像理论 | 第17-34页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 共焦探测传感机理 | 第17-19页 |
| 2.2.1 傅里叶光学基础 | 第17-18页 |
| 2.2.2 共焦传感机理分析 | 第18-19页 |
| 2.3 差动共焦传感机理 | 第19-23页 |
| 2.3.1 传统差动共焦机理分析 | 第20-21页 |
| 2.3.2 改进型差动共焦机理分析 | 第21-23页 |
| 2.4 光学计量部分基础理论 | 第23-33页 |
| 2.4.1 光学仪器计量参数 | 第24页 |
| 2.4.2 噪声 | 第24-25页 |
| 2.4.3 残余平面度 | 第25-26页 |
| 2.4.4 放大率、线性度、垂直度 | 第26-29页 |
| 2.4.5 分辨率 | 第29-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 差动共焦直边边缘成像特性频域分析 | 第34-43页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 光瞳函数及光学传递函数 | 第34-37页 |
| 3.3 直边边缘成像特性频域分析 | 第37-40页 |
| 3.4 差动共焦系统直边边缘成像 | 第40-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 基于空间移相原理的差动测量与畸变校正 | 第43-55页 |
| 4.1 引言 | 第43页 |
| 4.2 空间移相差动测量原理 | 第43-45页 |
| 4.3 探测器轴向偏移对成像特性的影响 | 第45-49页 |
| 4.3.1 探测器轴向偏移对共焦显微成像特性的影响 | 第45-48页 |
| 4.3.2 针孔轴向偏移对差动共焦显微成像特性的影响 | 第48-49页 |
| 4.4 共焦系统横向畸变校准方法 | 第49-54页 |
| 4.4.1 线性扭转校正算法 | 第50-52页 |
| 4.4.2 自校准技术 | 第52-54页 |
| 4.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 系统实验结果及分析 | 第55-62页 |
| 5.1 引言 | 第55页 |
| 5.2 差动共焦实验系统参数及实验步骤 | 第55-56页 |
| 5.3 光栅测量实验 | 第56-58页 |
| 5.4 质心法测量实验 | 第58-59页 |
| 5.5 空间移相差动测量方法与质心法测量结果对比 | 第59-61页 |
| 5.6 本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 致谢 | 第68页 |