| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 背景与意义 | 第8-10页 |
| 1.1.1 课题背景 | 第8-9页 |
| 1.1.2 目的与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-16页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第10-14页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第14-16页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第16-17页 |
| 2 电容式ΣΔ-MEMS加速度计工作原理 | 第17-30页 |
| 2.1 电容式MEMS加速度计集总模型 | 第17-19页 |
| 2.2 电容式MEMS加速度计信号检测 | 第19-22页 |
| 2.3 布朗噪声 | 第22-23页 |
| 2.4 静电力反馈 | 第23-24页 |
| 2.5 电容式MEMS加速度计控制方法 | 第24-26页 |
| 2.5.1 开环加速度计 | 第24-25页 |
| 2.5.2 闭环加速度计 | 第25-26页 |
| 2.6 ΣΔ调制技术 | 第26-29页 |
| 2.6.1 过采样技术 | 第27-28页 |
| 2.6.2 量化噪声整形技术 | 第28-29页 |
| 2.7 本章小结 | 第29-30页 |
| 3 ΣΔ微加速度计系统 | 第30-42页 |
| 3.1 二阶ΣΔ微加速度计 | 第30-33页 |
| 3.2 高阶ΣΔ微加速度计 | 第33-41页 |
| 3.2.1 高阶MASH-ΣΔ微加速度计 | 第33-34页 |
| 3.2.2 高阶单环ΣΔ微加速度计 | 第34-35页 |
| 3.2.3 高阶单环ΣΔ微加速度计系统参数设计方法 | 第35-41页 |
| 3.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 4 高阶ΣΔ微加速度计系统级设计与分析 | 第42-64页 |
| 4.1 敏感结构离散模型 | 第42-49页 |
| 4.1.1 敏感结构的工作时序 | 第42-44页 |
| 4.1.2 分时反馈下敏感结构离散模型 | 第44-46页 |
| 4.1.3 敏感结构离散模型仿真验证 | 第46-49页 |
| 4.2 高阶单环EM-ΣΔM设计 | 第49-58页 |
| 4.2.1 设计流程 | 第50-54页 |
| 4.2.2 系统级建模 | 第54-58页 |
| 4.3 系统性能指标分析 | 第58-63页 |
| 4.3.1 量化噪声整形和SQNR | 第58-60页 |
| 4.3.2 输入信号功率和SQNR | 第60-62页 |
| 4.3.3 机械参数的容错能力与SQNR | 第62-63页 |
| 4.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 5 五阶ΣΔ微加速度计系统拓扑结构设计 | 第64-73页 |
| 5.1 系统级建模 | 第64-66页 |
| 5.2 量化噪声整形与SQNR | 第66页 |
| 5.3 环路增益与SQNR | 第66-68页 |
| 5.4 反馈力非线性与SNDR | 第68-72页 |
| 5.5 本章小结 | 第72-73页 |
| 结论 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-80页 |