低气压容性耦合氢气等离子体的PIC-MCC模拟研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| ·等离子体概述 | 第9-10页 |
| ·等离子体的定义 | 第9页 |
| ·等离子体的两个主要参数 | 第9-10页 |
| ·等离子体分类 | 第10页 |
| ·等离子体的产生——气体放电 | 第10-13页 |
| ·射频容性耦合等离子体 | 第10-12页 |
| ·射频感性耦合等离子体 | 第12-13页 |
| ·脉冲放电等离子体 | 第13页 |
| ·常见的研究等离子体的数值模型 | 第13-14页 |
| ·本文的研究背景 | 第14-16页 |
| ·本论文研究的主要内容 | 第16-18页 |
| 2 PIC-MCC模型理论 | 第18-32页 |
| ·粒子模拟概述 | 第18-19页 |
| ·PIC方法 | 第19-26页 |
| ·带电粒子的速度和位置的初始化 | 第20-21页 |
| ·电荷的积累 | 第21-22页 |
| ·求解泊松方程 | 第22-24页 |
| ·粒子推动 | 第24-25页 |
| ·边界粒子的处理 | 第25页 |
| ·PIC模拟的稳定性条件 | 第25-26页 |
| ·MCC模型 | 第26-31页 |
| ·碰撞类型的选择 | 第27-28页 |
| ·电子与中性粒子的碰撞 | 第28-30页 |
| ·离子与中性粒子的碰撞 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 PIC-MCC模拟低气压容性耦合氢气放电 | 第32-49页 |
| ·引言 | 第32-34页 |
| ·模型简介及模拟的初始条件 | 第34-38页 |
| ·模拟结果 | 第38-44页 |
| ·单射频电源驱动的放电特征 | 第38-39页 |
| ·射频和脉冲双电源驱动的放电特征 | 第39-44页 |
| ·模拟结果讨论 | 第44-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 结论 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-55页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56页 |
