| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 引言 | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.2 纳米微位移工件台系统 | 第11-19页 |
| 1.3 计量型扫描电镜研究现状及应用 | 第19-22页 |
| 第2章 纳米微位移台系统的有限元方法 | 第22-26页 |
| 2.1 有限元方法概述 | 第22-24页 |
| 2.1.1 有限元的发展概况 | 第22-23页 |
| 2.1.2 有限元的基本理论 | 第23-24页 |
| 2.2 ANSYS软件基本功能 | 第24-26页 |
| 第3章 微位移台系统的有限元模拟仿真分析 | 第26-49页 |
| 3.1 微位移台系统的静力及模态理论分析 | 第26-28页 |
| 3.1.1 微位移台系统的静力分析理论 | 第26页 |
| 3.1.2 微位移台系统的模态分析理论 | 第26-28页 |
| 3.2 纳米微位移台支撑结构的模拟仿真 | 第28-37页 |
| 3.2.1 支撑结构的静力分析与模态分析 | 第28-33页 |
| 3.2.2 材料力学性能对位移台支撑结构基频的影响 | 第33-37页 |
| 3.3 优化后支撑结构的静力分析及模态分析 | 第37-42页 |
| 3.4 纳米微位移台的模拟仿真分析 | 第42-49页 |
| 3.4.1 纳米微位移台柔性铰链机构的静力理论分析 | 第42-45页 |
| 3.4.2 PI微位移台的静力分析及模态分析 | 第45-49页 |
| 第4章 微位移工作台系统的振动分析实验 | 第49-55页 |
| 4.1 激光测振仪的基本原理及测试方法 | 第49-51页 |
| 4.2 实验过程及结果 | 第51-55页 |
| 第5章 计量型扫描电镜微位移台的抗振效果分析实验 | 第55-64页 |
| 5.1 实验设备 | 第55-61页 |
| 5.1.1 扫描电子显微镜 | 第55页 |
| 5.1.2 纳米微位移台系统 | 第55-58页 |
| 5.1.3 激光测距系统 | 第58-61页 |
| 5.2 实验过程及结果 | 第61-64页 |
| 总结 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 致谢 | 第70-72页 |
| 导师简介 | 第72-74页 |
| 作者简介 | 第74-75页 |
| 学位论文数据集 | 第75页 |