| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 掺杂硅纳结构及其探测器件的研究背景 | 第8-11页 |
| 1.2 纳结构技术与器件的国内外研究进展 | 第11-13页 |
| 1.3 本课题研究意义及主要研究内容 | 第13-15页 |
| 2 基于掺杂硅纳结构微光探测的研究 | 第15-31页 |
| 2.1 理论基础 | 第15-20页 |
| 2.2 增益特性研究 | 第20-30页 |
| 2.3 本章小结 | 第30-31页 |
| 3 基于掺杂硅纳结构红外探测的研究 | 第31-50页 |
| 3.1 理论基础 | 第31-36页 |
| 3.2 纳结构光学天线谐振仿真研究 | 第36-46页 |
| 3.3 纳结构光热特性仿真研究 | 第46-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 4 器件制作 | 第50-57页 |
| 4.1 器件设计与工艺制备 | 第50-56页 |
| 4.2 本章小结 | 第56-57页 |
| 5 总结与展望 | 第57-59页 |
| 5.1 总结 | 第57-58页 |
| 5.2 展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 附录 攻读学位期间发表论文目录 | 第65页 |