| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 光晶体管的研究背景 | 第9-11页 |
| 1.2 硅基集成器件的发展简介 | 第11-13页 |
| 1.3 光晶体管的国内外研究进展 | 第13-19页 |
| 1.4 本论文的主要研究内容 | 第19-20页 |
| 2 光机械特性分析 | 第20-32页 |
| 2.1 光力的分类与原理 | 第20-23页 |
| 2.2 光梯度力的计算 | 第23-25页 |
| 2.3 增强光梯度力效应的方法 | 第25-26页 |
| 2.4 光梯度力常用结构 | 第26-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-32页 |
| 3 基于硅基集成器件的光机械晶体管研究 | 第32-49页 |
| 3.1 基于硅基MZI的光机械晶体管 | 第32-36页 |
| 3.2 基于硅基MRR的光机械晶体管 | 第36-47页 |
| 3.3 本章小结 | 第47-49页 |
| 4 总结与展望 | 第49-51页 |
| 4.1 总结 | 第49-50页 |
| 4.2 展望 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第56-57页 |
| 附录2 论文中缩略词含义 | 第57-58页 |