| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| CONTENTS | 第11-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-23页 |
| ·本文的研究背景及意义 | 第14-16页 |
| ·国内外研究现状 | 第16-19页 |
| ·课题来源及本文的主要研究内容 | 第19-23页 |
| ·课题来源 | 第19-20页 |
| ·本文研究内容及创新点 | 第20-21页 |
| ·论文结构安排 | 第21-23页 |
| 第二章 自动聚焦相关的基本理论 | 第23-34页 |
| ·TFT-LCD检测中自动聚焦的特点 | 第23-26页 |
| ·对焦的基本原理 | 第26页 |
| ·激光三角法改进的自动聚焦 | 第26-31页 |
| ·激光三角法原理 | 第26-27页 |
| ·激光三角法的改进 | 第27-29页 |
| ·数学模型建立 | 第29-31页 |
| ·系统光学结构设计 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 多倍数自动聚焦系统硬件结构设计 | 第34-48页 |
| ·多倍数自动对焦系统设计要求 | 第34-35页 |
| ·XY平台镜头切换设计要求 | 第34-35页 |
| ·Z向对焦控制性能的设计要求 | 第35页 |
| ·系统机械结构设计 | 第35-41页 |
| ·对焦平台整体结构 | 第35-36页 |
| ·Z向调焦结构的设计 | 第36-38页 |
| ·改进的镜头切换平台 | 第38-41页 |
| ·系统嵌入式方案 | 第41-47页 |
| ·基于嵌入式系统的硬件结构设计 | 第41-43页 |
| ·系统通讯设计 | 第43-46页 |
| ·XYZ轴运动控制器设计 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 自动聚焦激光光斑中心提取算法的研究 | 第48-59页 |
| ·图像预处理对于消除光斑鬼影的影响 | 第48-50页 |
| ·光斑鬼影的产生 | 第48-49页 |
| ·光斑鬼影的消除 | 第49-50页 |
| ·能量分析法 | 第50-52页 |
| ·质心分析法 | 第52-53页 |
| ·高斯拟合法 | 第53-57页 |
| ·图像数据预处理 | 第53-54页 |
| ·高斯曲线拟合算法 | 第54-56页 |
| ·卡尔曼滤波在算法中的应用 | 第56-57页 |
| ·算法分析比较 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 在线离焦量实时补偿控制算法的研究 | 第59-72页 |
| ·直流电机控制 | 第59-66页 |
| ·电机特性分析 | 第59-63页 |
| ·直流电机模型建立 | 第63-64页 |
| ·直流电机PID控制 | 第64-66页 |
| ·压电陶瓷控制 | 第66-69页 |
| ·压电陶瓷极坐标建立 | 第67-68页 |
| ·前馈PID控制 | 第68-69页 |
| ·宏微双驱在线离焦补偿控制 | 第69-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第六章 实验测试及结果分析 | 第72-91页 |
| ·软件程序实现 | 第72-76页 |
| ·程序开发环境 | 第72-73页 |
| ·关键程序模块化设计 | 第73-76页 |
| ·对焦实验及实验结果分析 | 第76-85页 |
| ·实验测试环境 | 第76-77页 |
| ·系统能力测试 | 第77页 |
| ·XY平台镜头切换控制性能测试 | 第77-80页 |
| ·多倍数自动聚焦能力测试 | 第80-85页 |
| ·测试结果与国内外同期水平比较 | 第85-88页 |
| ·整机在第六代TFT-LCD自动光学检测设备中的应用测试 | 第88-90页 |
| ·本章小结 | 第90-91页 |
| 总结与展望 | 第91-93页 |
| 1.全文总结 | 第91页 |
| 2.研究展望 | 第91-93页 |
| 参考文献 | 第93-96页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第96-97页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目 | 第97-99页 |
| 致谢 | 第99页 |