| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 铁电材料简介 | 第9-10页 |
| 1.3 钙钛矿弛豫铁电材料研究进展 | 第10-11页 |
| 1.4 本论文的提出与研究内容 | 第11-14页 |
| 1.4.1 本论文的提出 | 第11-13页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章 实验方法与内容 | 第14-20页 |
| 2.1 实验内容 | 第14页 |
| 2.2 复合靶材的制备 | 第14-15页 |
| 2.2.1 实验仪器和主要原料 | 第14-15页 |
| 2.2.2 复合靶材的制备工艺 | 第15页 |
| 2.3 复合薄膜的制备方法 | 第15-17页 |
| 2.4 结构与电性能表征 | 第17-20页 |
| 2.4.1 相结构表征 | 第17页 |
| 2.4.2 显微结构表征 | 第17-18页 |
| 2.4.3 电性能的表征 | 第18-20页 |
| 第三章 基于SRO/STO<001>单晶衬底复合薄膜的制备研究 | 第20-29页 |
| 3.1 复合靶材的选取及相结构分析 | 第20-22页 |
| 3.2 底电极的相结构及表面形貌分析 | 第22-23页 |
| 3.3 复合薄膜的相结构分析 | 第23-25页 |
| 3.4 复合薄膜的表面形貌分析 | 第25-27页 |
| 3.5 复合薄膜铁电性能分析 | 第27-29页 |
| 第四章 基于SRO/STO<110>单晶衬底复合薄膜的制备研究 | 第29-34页 |
| 4.1 复合薄膜的相结构分析 | 第29-30页 |
| 4.2 复合薄膜的表面形貌分析 | 第30-33页 |
| 4.3 复合薄膜的铁电性能分析 | 第33-34页 |
| 第五章 基于SRO/STO<111>单晶衬底复合薄膜的制备研究 | 第34-40页 |
| 5.1 复合薄膜的相结构分析 | 第34-35页 |
| 5.2 复合薄膜的表面形貌分析 | 第35-38页 |
| 5.3 复合薄膜的铁电性能分析 | 第38-39页 |
| 5.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 第六章 总结与展望 | 第40-41页 |
| 6.1 总结 | 第40页 |
| 6.2 展望 | 第40-41页 |
| 参考文献 | 第41-45页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文情况 | 第45-46页 |
| 致谢 | 第46页 |
