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钙钛矿复合铁电薄膜的制备研究

摘要第4-5页
Abstract第5页
第一章 绪论第9-14页
    1.1 引言第9页
    1.2 铁电材料简介第9-10页
    1.3 钙钛矿弛豫铁电材料研究进展第10-11页
    1.4 本论文的提出与研究内容第11-14页
        1.4.1 本论文的提出第11-13页
        1.4.2 研究内容第13-14页
第二章 实验方法与内容第14-20页
    2.1 实验内容第14页
    2.2 复合靶材的制备第14-15页
        2.2.1 实验仪器和主要原料第14-15页
        2.2.2 复合靶材的制备工艺第15页
    2.3 复合薄膜的制备方法第15-17页
    2.4 结构与电性能表征第17-20页
        2.4.1 相结构表征第17页
        2.4.2 显微结构表征第17-18页
        2.4.3 电性能的表征第18-20页
第三章 基于SRO/STO<001>单晶衬底复合薄膜的制备研究第20-29页
    3.1 复合靶材的选取及相结构分析第20-22页
    3.2 底电极的相结构及表面形貌分析第22-23页
    3.3 复合薄膜的相结构分析第23-25页
    3.4 复合薄膜的表面形貌分析第25-27页
    3.5 复合薄膜铁电性能分析第27-29页
第四章 基于SRO/STO<110>单晶衬底复合薄膜的制备研究第29-34页
    4.1 复合薄膜的相结构分析第29-30页
    4.2 复合薄膜的表面形貌分析第30-33页
    4.3 复合薄膜的铁电性能分析第33-34页
第五章 基于SRO/STO<111>单晶衬底复合薄膜的制备研究第34-40页
    5.1 复合薄膜的相结构分析第34-35页
    5.2 复合薄膜的表面形貌分析第35-38页
    5.3 复合薄膜的铁电性能分析第38-39页
    5.4 本章小结第39-40页
第六章 总结与展望第40-41页
    6.1 总结第40页
    6.2 展望第40-41页
参考文献第41-45页
攻读硕士学位期间发表论文情况第45-46页
致谢第46页

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