| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第14-31页 |
| 1.1 课题研究的背景和意义 | 第14-16页 |
| 1.2 国内外圆柱轮廓测量技术研究概述 | 第16-20页 |
| 1.3 圆轮廓测量模型及偏置误差分离技术研究现状 | 第20-25页 |
| 1.4 基准间位置误差分离技术研究现状 | 第25-29页 |
| 1.4.1 基于多测头原理的基准间位置误差分离方法 | 第25-26页 |
| 1.4.2 基于反向测量原理的基准间位置误差分离方法 | 第26-29页 |
| 1.5 本研究领域存在的科学问题和关键技术问题 | 第29-30页 |
| 1.6 课题来源及主要研究内容 | 第30-31页 |
| 第2章 双偏置参数圆轮廓测量模型与偏置误差分离方法 | 第31-54页 |
| 2.1 引言 | 第31-32页 |
| 2.2 传统Limacon测量模型原理误差分析 | 第32-35页 |
| 2.3 传感器测量线偏移误差 | 第35-40页 |
| 2.3.1 传感器测量线偏移误差的来源 | 第35-36页 |
| 2.3.2 传感器测量线偏移误差的表现形式 | 第36-37页 |
| 2.3.3 传感器测量线偏移误差对圆轮廓测量的影响 | 第37-40页 |
| 2.4 双偏置参数圆轮廓测量模型 | 第40-44页 |
| 2.4.1 双偏置参数圆轮廓测量模型的建立 | 第40-41页 |
| 2.4.2 双偏置参数间的复合作用对圆轮廓测量的影响 | 第41-44页 |
| 2.5 基于参数优化的双偏置参数误差分离方法 | 第44-53页 |
| 2.5.1 单纯形优化算法基本原理 | 第45-47页 |
| 2.5.2 基于单纯形寻优估计的偏置参量精确求解方法 | 第47-49页 |
| 2.5.3 仿真实验及分析 | 第49-53页 |
| 2.6 本章小结 | 第53-54页 |
| 第3章 基于圆柱标准器自身特征参照的基准间位置误差分离方法 | 第54-76页 |
| 3.1 引言 | 第54-55页 |
| 3.2 基准间位置误差作用形式及误差分离基本条件 | 第55-56页 |
| 3.3 基于圆柱标准器自身特征参照的基准间位置误差分离方法 | 第56-63页 |
| 3.3.1 基本思想 | 第56-57页 |
| 3.3.2 分离原理及分离模型的建立 | 第57-61页 |
| 3.3.3 基准间位置误差的求解 | 第61-63页 |
| 3.4 基准间位置误差分离精度影响因素分析 | 第63-69页 |
| 3.4.1 测量截面间距不等的影响 | 第63-64页 |
| 3.4.2 圆柱标准器正、倒置测量截面定位误差的影响 | 第64-67页 |
| 3.4.3 圆柱标准器安装倾斜误差的影响 | 第67-69页 |
| 3.5 基准间位置误差分离有效性仿真实验 | 第69-75页 |
| 3.5.1 用发生的数据仿真 | 第69-73页 |
| 3.5.2 用实测的圆柱轮廓数据仿真 | 第73-75页 |
| 3.6 本章小结 | 第75-76页 |
| 第4章 实验验证与不确定度分析 | 第76-100页 |
| 4.1 引言 | 第76页 |
| 4.2 实验装置及条件 | 第76-77页 |
| 4.2.1 实验使用的装置和标准器 | 第76-77页 |
| 4.2.2 实验的环境条件 | 第77页 |
| 4.3 传感器系统精度测试 | 第77-80页 |
| 4.3.1 传感器放大倍率校准 | 第77-78页 |
| 4.3.2 传感器非线性误差测试 | 第78-79页 |
| 4.3.3 传感器示值重复性测试 | 第79-80页 |
| 4.4 传感器测量线偏移误差分离实验 | 第80-82页 |
| 4.5 基准间位置误差分离实验 | 第82-94页 |
| 4.5.1 分离结果的一致性实验 | 第82-87页 |
| 4.5.2 分离方法的有效性实验 | 第87-94页 |
| 4.6 基准间位置误差分离方法不确定度分析 | 第94-99页 |
| 4.6.1 误差来源及标准不确定度 | 第94-98页 |
| 4.6.2 合成标准不确定度 | 第98页 |
| 4.6.3 扩展不确定度 | 第98-99页 |
| 4.7 本章小结 | 第99-100页 |
| 结论 | 第100-103页 |
| 参考文献 | 第103-113页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第113-116页 |
| 致谢 | 第116-117页 |
| 个人简历 | 第117-118页 |
