基于飞秒光精密加工技术金属薄膜深小孔加工研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-9页
第一章 绪论	第9-23页
·引言	第9-10页
·飞秒激光的微加工特点	第10-11页
·飞秒激光加工技术进展	第11-13页
·飞秒激光的微加工应用	第13-19页
·本论文的主要研究内容	第19页
·参考文献	第19-23页
第二章 飞秒激光烧蚀金属靶理论模型	第23-31页
·飞秒激光烧蚀金属材料作用机理	第23-24页
·飞秒激光微纳加工技术机理研究常用方法	第24-27页
·参考文献	第27-31页
第三章 飞秒激光烧蚀金属铝的理论模拟研究	第31-46页
·理论基础	第31-33页
·有限元时域差分法	第31页
·有限元时域差分法	第31-32页
·各参数取值	第32-33页
·一维双温模型	第33-36页
·二维双温模型	第36-38页
·三维双温模型	第38-44页
·单脉冲三维双温模型	第39-41页
·多脉冲三维双温模型	第41-44页
·本章小结	第44页
·参考文献	第44-46页
第四章飞秒激光烧蚀金属铝的实验研究研究	第46-60页
·飞秒激光烧蚀材料实验研究现状	第46-49页
·飞秒激光微加工实验系统介绍	第49-52页
·掺钛蓝宝石激光器	第49-51页
·精细加工光路装置	第51-52页
·三维数控精密加工平台及其控制装置	第52页
·飞秒激光烧蚀金属铝实验研究	第52-57页
·样品准备	第52页
·实验结果及讨论	第52-57页
·本章小结	第57页
·参考文献	第57-60页
第五章 全文总结	第60-62页
·主要结论	第60-61页
·研究展望	第61-62页
致谢	第62-63页
攻读硕士学位期间已发表或录用的论文	第63-65页