摘要 | 第8-10页 |
ABSTRACT | 第10-11页 |
第一章 绪论 | 第12-32页 |
1.1 引言 | 第12页 |
1.2 半导体气敏材料概述 | 第12-18页 |
1.2.1 半导体气敏材料的分类 | 第12-14页 |
1.2.2 半导体气敏材料的研究现状及进展 | 第14-15页 |
1.2.3 半导体气敏材料的制备方法 | 第15-17页 |
1.2.4 半导体气敏材料的工作参数 | 第17-18页 |
1.3 SnO_2基复合气敏材料 | 第18-23页 |
1.3.1 SnO_2基本性质 | 第18-19页 |
1.3.2 SnO_2形貌结构及复合修饰 | 第19-22页 |
1.3.3 SnO_2表征方法 | 第22-23页 |
1.4 研究意义和创新 | 第23-25页 |
参考文献 | 第25-32页 |
第二章 多孔球状SnO_2的制备及气敏性能的研究 | 第32-46页 |
2.1 引言 | 第32页 |
2.2 多孔球状SnO_2的制备 | 第32-36页 |
2.2.1 实验原料及仪器 | 第32-33页 |
2.2.2 实验步骤及表征 | 第33-34页 |
2.2.3 传感器制备及性能测试 | 第34-36页 |
2.3 结果与讨论 | 第36-42页 |
2.3.1 X射线衍射分析 | 第36页 |
2.3.2 形貌及结构分析 | 第36-38页 |
2.3.3 气敏性能分析 | 第38-40页 |
2.3.4 气敏机理分析 | 第40-42页 |
2.4 小结 | 第42-43页 |
参考文献 | 第43-46页 |
第三章 Sb_2O_5修饰的SnO_2复合气敏材料 | 第46-62页 |
3.1 引言 | 第46页 |
3.2 复合气敏材料的制备 | 第46-49页 |
3.2.1 实验原料及仪器 | 第46-47页 |
3.2.2 实验过程及表征 | 第47-48页 |
3.2.3 气敏性能测试 | 第48-49页 |
3.3 结果与讨论 | 第49-59页 |
3.3.1 X射线衍射及光电子能谱分析 | 第49-51页 |
3.3.2 形貌及结构分析 | 第51-54页 |
3.3.3 气敏性能测试分析 | 第54-57页 |
3.3.4 Sb_2O_5修饰对气敏性能的影响机理 | 第57-59页 |
3.4 小结 | 第59-60页 |
参考文献 | 第60-62页 |
第四章 结论 | 第62-64页 |
4.1 主要内容 | 第62-63页 |
4.2 研究创新性 | 第63页 |
4.3 延伸及展望 | 第63-64页 |
附录 | 第64-72页 |
致谢 | 第72-73页 |
攻读学位期间发表的学术论文和参加科研情况 | 第73-74页 |
学位论文评阅及答辩情况表 | 第74页 |