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Sol-gel法制备掺杂ZnO薄膜的研究

摘要第1-8页
Abstract第8-10页
第1章 绪论第10-22页
   ·研究背景第10-13页
     ·ZnO薄膜的研究现状第10-11页
     ·ZnO薄膜的应用前景第11-12页
     ·ZnO的晶体结构第12页
     ·ZnO薄膜的光电特性第12-13页
     ·ZnO薄膜的发光机理第13页
   ·ZnO薄膜的掺杂特性第13-18页
     ·氧化锌的n型掺杂第14-15页
     ·氧化锌的p型掺杂第15-18页
   ·ZnO薄膜的制备方法及其实验示例第18-21页
   ·本论文的目的及研究内容第21-22页
第2章 掺杂ZnO薄膜的制备及实验方法第22-31页
   ·溶胶凝胶的基本过程第22-25页
     ·溶胶凝胶的形成第22-23页
     ·溶胶的涂覆第23页
     ·溶胶凝胶化第23-24页
     ·凝胶的干燥第24页
     ·干凝胶的热处理第24-25页
   ·实验药品及仪器设备第25页
   ·薄膜的制备第25-28页
   ·样品表征方法第28-31页
     ·X射线衍射原理第28页
     ·光致发光谱分析第28-30页
     ·紫外可见分光光度法第30-31页
第3章 Sol-gel法制备B单掺ZnO薄膜及其性能分析第31-39页
   ·乙酰丙酮用量对ZnO薄膜结晶性的影响第31-32页
   ·热处理温度对B掺杂ZnO薄膜结晶性的影响第32-33页
   ·热处理温度对B掺杂ZnO薄膜光致发光性的影响第33-35页
   ·B浓度对ZnO薄膜结晶性的影响第35-36页
   ·B浓度对ZnO薄膜光致发光性的影响第36-37页
   ·B浓度对ZnO薄膜光透射性的影响第37页
   ·本章小结第37-39页
第4章 Sol-gel法制备B和N共掺ZnO薄膜及其性能分析第39-46页
   ·热处理温度对B和N共掺杂ZnO薄膜结晶性的影响第39-40页
   ·热处理温度对B和N共掺ZnO薄膜发光性的影响第40-41页
   ·热处理温度对B和N共掺ZnO薄膜光透射性的影响第41-42页
   ·H_3BO_3掺入量对B和N共掺ZnO薄膜结晶性的影响第42-43页
   ·H_3BO_3掺入量对B和N共掺ZnO薄膜光致发光性的影响第43-44页
   ·H_3BO_3掺入量对B和N共掺ZnO薄膜光透射性的影响第44-45页
   ·本章小结第45-46页
第5章 Sol-gel法制备Na和N共掺ZnO薄膜及其性能分析第46-52页
   ·Na掺入量对Na和N共掺ZnO薄膜结晶性的影响第47-48页
   ·Na掺入量对Na和N共掺ZnO薄膜光致发光影响第48页
   ·热处理温度对Na和N共掺ZnO薄膜结晶性的影响第48-50页
   ·热处理温度对Na和N共掺ZnO薄膜发光性的影响第50-51页
   ·本章小结第51-52页
结论第52-54页
参考文献第54-58页
致谢第58页

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