| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-11页 |
| 注释表 | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-23页 |
| ·纳米多层膜 | 第12-13页 |
| ·纳米多层膜特性 | 第13-15页 |
| ·力学性能 | 第13页 |
| ·磁性能 | 第13-14页 |
| ·耐腐蚀性 | 第14-15页 |
| ·其它性能 | 第15页 |
| ·纳米多层膜的应用 | 第15-16页 |
| ·纳米多层膜的制备方法 | 第16-21页 |
| ·物理气相沉积 | 第17页 |
| ·化学气相沉积 | 第17-18页 |
| ·电化学方法 | 第18-20页 |
| ·其它方法 | 第20-21页 |
| ·本文研究内容及意义 | 第21-23页 |
| 第二章 喷射电沉积相关理论及喷嘴流场仿真 | 第23-35页 |
| ·金属电沉积过程 | 第23-24页 |
| ·金属的阴极过程 | 第23页 |
| ·金属离子阴极还原 | 第23页 |
| ·金属电结晶过程 | 第23-24页 |
| ·喷射电沉积制备纳米多层膜的优势 | 第24-26页 |
| ·沉积选择性小 | 第24页 |
| ·高极限电流密度与过电压 | 第24-25页 |
| ·结晶细致、形核速度快 | 第25-26页 |
| ·阳极设计及喷嘴流场仿真 | 第26-34页 |
| ·阳极及喷嘴设计 | 第26-28页 |
| ·喷嘴流场仿真 | 第28-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 Cu/Co 纳米多层膜的装置设计及工艺试验 | 第35-49页 |
| ·Cu/Co 纳米多层膜装置设计 | 第35-41页 |
| ·多层膜制备的基本原理 | 第35-36页 |
| ·液流循环系统设计 | 第36-37页 |
| ·控制系统设计 | 第37-39页 |
| ·其它相关部件的设计 | 第39-41页 |
| ·工艺试验 | 第41-46页 |
| ·基底的前处理与后处理 | 第41-42页 |
| ·电镀液成分及其故障处理 | 第42-44页 |
| ·试验方案的拟定 | 第44-46页 |
| ·测试中使用的仪器 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第四章 Cu/Co 纳米多层膜的性能研究 | 第49-62页 |
| ·Cu/Co 纳米多层膜的 SEM 表征 | 第49-50页 |
| ·工艺参数对 Cu/Co 纳米多层膜表面形貌的影响 | 第50-55页 |
| ·电流密度对表面微观形貌的影响 | 第50-52页 |
| ·平动速度对表面微观形貌的影响 | 第52-53页 |
| ·工艺参数对表面粗糙度的影响 | 第53-55页 |
| ·多层膜的耐腐蚀性 | 第55-57页 |
| ·多层膜结构对硬度的影响 | 第57-61页 |
| ·调制波长对硬度的影响 | 第58-60页 |
| ·子层厚度对硬度的影响 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 总结与展望 | 第62-64页 |
| ·总结 | 第62页 |
| ·展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第68页 |