| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| ·研究背景 | 第9-10页 |
| ·无刷电机脉动转矩研究现状综述 | 第10-14页 |
| ·齿槽转矩脉动及其抑制 | 第10-11页 |
| ·反电动势为非理想波形引起的脉动及其抑制 | 第11-12页 |
| ·换相转矩脉动及其抑制 | 第12-13页 |
| ·调制方式引起的转矩脉动及其抑制 | 第13-14页 |
| ·场路联合仿真方法发展综述 | 第14-16页 |
| ·直流电机分析法 | 第14页 |
| ·状态方程仿真法 | 第14-15页 |
| ·电磁场解析计算方法 | 第15页 |
| ·电磁场有限元数值计算法 | 第15页 |
| ·场路联合仿真方法 | 第15-16页 |
| ·课题来源与论文安排 | 第16-18页 |
| ·课题来源 | 第16页 |
| ·论文安排 | 第16-18页 |
| 第2章 晶圆清洗机无刷电机齿槽转矩研究 | 第18-51页 |
| ·场路联合仿真软件 | 第18-19页 |
| ·电磁场仿真软件 Ansoft Maxwell | 第18页 |
| ·Ansys Simplorer | 第18-19页 |
| ·齿槽转矩的产生机理和解析表达 | 第19-21页 |
| ·无刷电机定子结构对齿槽转矩的影响 | 第21-33页 |
| ·极/槽配合 | 第22-26页 |
| ·定子齿开辅助槽 | 第26-30页 |
| ·定子斜槽 | 第30-33页 |
| ·无刷电机转子结构对齿槽转矩的影响 | 第33-44页 |
| ·磁极形状 | 第33-40页 |
| ·转子斜极 | 第40-42页 |
| ·不同气隙 | 第42-44页 |
| ·几种仿真方法对比 | 第44页 |
| ·晶圆清洗机无刷电机的优化设计方案 | 第44-51页 |
| ·基于 RMxprt 和 Maxwell-2D 的电磁设计 | 第44-46页 |
| ·晶圆清洗机无刷电机的结构优化 | 第46-47页 |
| ·基于场路联合晶圆清洗机无刷电机的性能仿真 | 第47-51页 |
| 第3章 晶圆清洗机无刷电机纹波转矩研究 | 第51-74页 |
| ·无刷电机参数的计算 | 第51-57页 |
| ·绕组电阻 R1与电枢等效电阻 Req | 第51-53页 |
| ·定子三相绕组电感的计算 | 第53-56页 |
| ·反电动势系数 KE与转矩系数 KT | 第56-57页 |
| ·基于 RMxprt 模块计算得到的电机参数 | 第57页 |
| ·无刷电机的 MATLAB 仿真模型 | 第57-62页 |
| ·无刷电机的数学模型 | 第57-58页 |
| ·基于 MATLAB 的无刷电机控制系统仿真模型的建立 | 第58-61页 |
| ·额定情况下的电机性能 | 第61-62页 |
| ·电动势波形对纹波转矩的影响 | 第62-66页 |
| ·平顶波宽度对换相转矩波形的影响 | 第62-64页 |
| ·非理想反电势对转矩脉动的影响 | 第64-66页 |
| ·换相过程的纹波转矩研究 | 第66-71页 |
| ·非换相电流大小保持恒定不变 | 第68页 |
| ·非换相电流大小出现下凹 | 第68-69页 |
| ·非换相电流出现上凸 | 第69页 |
| ·电流换相引起电磁转矩波动抑制的仿真 | 第69-71页 |
| ·PWM 调制方式对纹波转矩波动的影响 | 第71-74页 |
| ·调制方式对换相期间转矩的影响 | 第72-73页 |
| ·调制方式对非换相期间转矩的影响 | 第73-74页 |
| 第4章 晶圆清洗机无刷电机样机实验研究 | 第74-86页 |
| ·样机试制 | 第74-76页 |
| ·样机本体 | 第74-76页 |
| ·无刷控制器 | 第76页 |
| ·样机的空载实验 | 第76-78页 |
| ·样机的气隙磁密与反电动势 | 第76-77页 |
| ·样机的反电动势现场实验 | 第77-78页 |
| ·样机的效率 | 第78-82页 |
| ·样机的铜耗 | 第78-79页 |
| ·样机的铁耗 | 第79-80页 |
| ·样机的机械损耗 | 第80页 |
| ·样机的仿真效率以及额定效率实验 | 第80-82页 |
| ·样机的齿槽转矩和动态转矩脉动的测量 | 第82-86页 |
| ·齿槽转矩的测量 | 第82-83页 |
| ·动态转矩脉动的测量 | 第83-86页 |
| 第5章 全文总结 | 第86-88页 |
| 参考文献 | 第88-92页 |
| 致谢 | 第92页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第92-93页 |