双圆锥形圆弧刀刻划衍射光栅的槽形控制研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题的背景 | 第8-9页 |
| ·课题研究的意义 | 第9-10页 |
| ·光栅机械刻划介绍 | 第10-13页 |
| ·光栅刻划的运动 | 第10-11页 |
| ·光栅刻划刀的分类 | 第11-13页 |
| ·弧形刻刀参数 | 第13页 |
| ·超精密加工的有限元研究现状 | 第13-14页 |
| ·课题的内容 | 第14-16页 |
| 第二章 光栅刻划的机理研究 | 第16-35页 |
| ·滑移线场理论介绍 | 第16-18页 |
| ·刻划过程的近似与转化 | 第18-22页 |
| ·刻划过程的等效下压转化 | 第19-20页 |
| ·铝膜材料刚塑性近似 | 第20-21页 |
| ·平面问题的近似 | 第21-22页 |
| ·楔体压入的滑移线场 | 第22-24页 |
| ·单槽的刻划深度模型 | 第24-26页 |
| ·单槽的刻划深度模型 | 第24-25页 |
| ·单槽的刻划深度计算 | 第25-26页 |
| ·双槽时刻刀的落刀位置 | 第26页 |
| ·双槽的槽形轮廓 | 第26-28页 |
| ·双槽的刻划深度模型 | 第28-33页 |
| ·刻划深度的有限元验证 | 第33-35页 |
| 第三章 光栅刻划的工艺参数规律研究 | 第35-56页 |
| ·铝膜的材料属性 | 第35-39页 |
| ·压痕和划痕试验设备 | 第35-36页 |
| ·压痕试验及试验结果 | 第36-38页 |
| ·划痕试验及试验结果 | 第38-39页 |
| ·有限元软件介绍 | 第39-40页 |
| ·刻划过程的有限元关键技术 | 第40-43页 |
| ·材料本构关系 | 第40-41页 |
| ·接触与摩擦 | 第41页 |
| ·材料分离及断裂 | 第41-42页 |
| ·网格重划分 | 第42-43页 |
| ·刻划光栅的工艺参数规律研究 | 第43-56页 |
| ·刻划模型的建立 | 第43-44页 |
| ·铝膜厚度对槽形的影响规律 | 第44-46页 |
| ·刻划速度对槽形的影响规律 | 第46-47页 |
| ·方位角对槽形的影响规律 | 第47-49页 |
| ·刀刃圆弧半径对槽形的影响规律 | 第49-50页 |
| ·刃口半径对槽形的影响规律 | 第50-52页 |
| ·刀尖角对槽形的影响规律 | 第52-54页 |
| ·定向角对槽形的影响规律 | 第54-56页 |
| 第四章 光栅刻划的工艺参数优化 | 第56-73页 |
| ·光栅工作原理 | 第56-57页 |
| ·光栅刻划的工艺参数优化 | 第57-63页 |
| ·试验优化方法 | 第57-59页 |
| ·工艺参数的正交试验优化 | 第59-61页 |
| ·正交试验优化结果及结果分析 | 第61-63页 |
| ·刻划过程中铝膜的塑性流动规律 | 第63-69页 |
| ·刻划过程中铝膜的速度场分布规律 | 第63-65页 |
| ·刻划过程中铝膜的位移场分布规律 | 第65-67页 |
| ·刻划过程中铝膜的应力场分布规律 | 第67-69页 |
| ·刻划过程中铝膜的应变场分布规律 | 第69页 |
| ·刻划过程中刻划力的变化规律 | 第69-70页 |
| ·机械刻划的槽形控制策略 | 第70-73页 |
| 第五章 光栅刻划的刀具定向设计 | 第73-91页 |
| ·金刚石的属性 | 第73-74页 |
| ·金刚石的分类 | 第74-76页 |
| ·金刚石分类 | 第74-75页 |
| ·金刚石的晶体形态分类 | 第75-76页 |
| ·刻划刀的原料选取 | 第76页 |
| ·金刚石晶体定向 | 第76-80页 |
| ·金刚石的晶面性质 | 第76-77页 |
| ·金刚石晶体的晶面 | 第77-79页 |
| ·晶体定向方法 | 第79-80页 |
| ·金刚石的微观强度 | 第80-81页 |
| ·弧形刻刀的磨损研究 | 第81-85页 |
| ·弧形刻刀的优化参数 | 第81-82页 |
| ·弧形刻刀的磨损方向 | 第82-84页 |
| ·换刃后刻刀的磨损方向 | 第84-85页 |
| ·弧形刻刀的定向设计 | 第85-91页 |
| ·弧形刻刀的定向方案设计 | 第85-88页 |
| ·弧形刻刀的定向方案选择 | 第88-91页 |
| 结论 | 第91-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 参考文献 | 第93-95页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文与参研课题 | 第95页 |
