单晶锗数控非球面加工技术研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-7页
第一章 绪论	第7-15页
·引言	第7页
·国内外加工技术现状	第7-10页
·国外非球面加工技术现状	第7-9页
·国内非球面加工技术现状	第9-10页
·非球面镜的国内外检测现状	第10-11页
·锗材料概述	第11-12页
·光学用锗晶体材料特性	第11页
·单晶锗在红外技术上的应用	第11-12页
·课题研究内容及其要求	第12-15页
·课题的研究内容	第12页
·课题的要求	第12-15页
第二章 非球面加工的理论基础	第15-24页
·非球面理论知识	第15-19页
·非球面曲面方程	第15-17页
·非球面度的计算方法	第17-19页
·CCOS技术的基础理论	第19-24页
·Preston假设	第19-20页
·去除函数的推导	第20-21页
·驻留函数的算法	第21-24页
第三章 非球面单晶锗的研抛工艺研究	第24-35页
·误差的控制	第24-26页
·单晶锗研磨工艺参数研究	第26-27页
·单晶锗抛光工艺参数优化	第27-33页
·抛光模的选取	第28-29页
·抛光液的选取	第29-30页
·抛光压力的确定	第30-31页
·抛光辅料的组合优化	第31-33页
·非球面单晶锗的检测技术	第33-35页
第四章 实验及结果分析	第35-43页
·Φ26mm单晶锗透镜的加工实验	第35-42页
·Φ26mm整体加工工艺流程的设计	第35页
·DIFFSYS Version软件的模拟仿真	第35-36页
·单晶锗的数控铣磨成型	第36-38页
·单晶锗的数控抛光工艺	第38-42页
·测试结果误差分析	第42-43页
总结	第43-44页
参考文献	第44-45页