| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·VCSEL发展历史及现状 | 第7-9页 |
| ·VCSEL需要突破的困难 | 第9-10页 |
| ·ITO透明导电膜的发展与应用 | 第10-11页 |
| ·本课题研究内容及意义 | 第11-13页 |
| 第二章 VCSEL器件和ITO薄膜的基本结构与特性 | 第13-24页 |
| ·VCSEL基本结构和特性 | 第13-17页 |
| ·ITO薄膜结构及光电特性 | 第17-20页 |
| ·ITO薄膜制备工艺 | 第20-24页 |
| 第三章 VCSEL透明导电窗结构设计及其样品制备 | 第24-40页 |
| ·VCSEL透明导电窗的结构设计 | 第24-25页 |
| ·制备ITO薄膜的设备介绍 | 第25-32页 |
| ·ITO薄膜的光电特性测试 | 第32-34页 |
| ·980NMVCSEL器件透明导电窗口样品的制备与测试 | 第34-40页 |
| 第四章 透明导电窗结构的VCSEL器件电光特性分析 | 第40-49页 |
| ·ITO薄膜作980NMVCSEL导电窗口的仿真实验 | 第40-42页 |
| ·透明导电窗口对VCSEL器件影响及分析 | 第42-49页 |
| 第五章 结论 | 第49-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-53页 |