| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| ·太阳能电池 | 第9-11页 |
| ·太阳能电池的发展背景 | 第9-10页 |
| ·太阳能电池的种类 | 第10页 |
| ·太阳能电池的发展方向 | 第10-11页 |
| ·CIGS太阳能电池 | 第11-16页 |
| ·CIGS太阳能电池的结构及制备方法 | 第11-13页 |
| ·吸收层CuInSe_2薄膜的制备方法 | 第13-15页 |
| ·CIGS薄膜光伏组件 | 第15-16页 |
| ·CIGS太阳能电池国内外的研究及产业化情况 | 第16-18页 |
| ·柔性基底CIGS太阳能电池 | 第18-20页 |
| ·本课题研究目的与主要内容 | 第20-21页 |
| 第2章 扩散阻挡层的制备及性能研究 | 第21-36页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·扩散阻挡层的制备及性能测试 | 第21-27页 |
| ·电沉积原理 | 第21-22页 |
| ·实验药品和仪器 | 第22页 |
| ·制备过程及工艺参数 | 第22-24页 |
| ·制备过程出现的问题及解决措施 | 第24-27页 |
| ·测试方法 | 第27页 |
| ·三种镀层作为扩散阻挡层的性能对比分析 | 第27-32页 |
| ·镀层形貌分析 | 第27-28页 |
| ·截面形貌分析 | 第28-29页 |
| ·扩散阻挡性能分析 | 第29-31页 |
| ·与背电极Mo的结合力分析 | 第31-32页 |
| ·Ni/Ni-Mo多层膜中子层厚度和Mo含量对其扩散阻挡性能的影响 | 第32-35页 |
| ·多层膜的截面形貌 | 第32-33页 |
| ·扩散阻挡性能 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 吸收层预制膜的制备 | 第36-48页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·磁控溅射的基本原理 | 第36-37页 |
| ·溅射功率对预制膜微观结构的影响 | 第37-43页 |
| ·样品的制备和表征 | 第37-38页 |
| ·溅射功率对预制膜沉积速率的影响 | 第38-39页 |
| ·溅射功率对预制膜三维形貌及粗糙的影响 | 第39-41页 |
| ·溅射功率对预制膜表面形貌和成分的影响 | 第41-42页 |
| ·溅射功率对预制膜相结构的影响 | 第42-43页 |
| ·结论 | 第43页 |
| ·非真空快速升温条件对预制膜合金化的影响 | 第43-46页 |
| ·不同保温时间对预制膜相结构的影响 | 第43-44页 |
| ·不同保温时间对预制膜形貌的影响 | 第44-46页 |
| ·不同保温时间对预制膜成分的影响 | 第46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第4章 硒化实验及硒化装置的设计 | 第48-63页 |
| ·引言 | 第48-50页 |
| ·连续式快速硒化炉及高活性可控硒蒸汽供应装置 | 第50-54页 |
| ·连续式快速硒化炉的设计 | 第50-52页 |
| ·高活性可控硒蒸汽供应装置的设计 | 第52-53页 |
| ·装置使用操作流程 | 第53-54页 |
| ·硒化实验 | 第54-61页 |
| ·不同衬底对吸收层的影响 | 第54-57页 |
| ·高温快速硫化对吸收层的影响 | 第57-61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 第5章 总结与展望 | 第63-65页 |
| ·论文总结 | 第63-64页 |
| ·工作展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 攻读学位期间发表论文 | 第71页 |