纳米压痕法表征压电薄膜/纳米带的力电耦合性能
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| ·低维微纳电子材料 | 第9-10页 |
| ·低维微纳电子材料简介 | 第9页 |
| ·低维微纳电子材料的力学性能表征 | 第9-10页 |
| ·纳米压痕测试简介 | 第10-13页 |
| ·压痕数值模拟 | 第13-15页 |
| ·本论文的选题依据和主要内容 | 第15-18页 |
| ·本文的选题依据 | 第15-16页 |
| ·本文的主要工作 | 第16-18页 |
| 第2章 横观各向同性薄膜PZT 的力电耦合参数 | 第18-35页 |
| ·横观各向同性薄膜压痕响应 | 第18-20页 |
| ·横观各向同性材料描述 | 第18-20页 |
| ·基底效应下的加载关系 | 第20页 |
| ·估算弹性参数 | 第20-30页 |
| ·正向分析 | 第20-27页 |
| ·反向分析 | 第27-28页 |
| ·求解PZT 薄膜的弹性参数 | 第28-30页 |
| ·估算压电参数 | 第30-34页 |
| ·正向分析 | 第30-33页 |
| ·反向分析 | 第33页 |
| ·求解 PZT 薄膜的压电参数 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 纳米带宽厚比对其杨氏模量的影响 | 第35-43页 |
| ·正向分析 | 第35-39页 |
| ·无量纲分析 | 第35-36页 |
| ·有限元处理 | 第36页 |
| ·数值压痕纳米加载曲线 | 第36-38页 |
| ·建立无量纲方程 | 第38-39页 |
| ·反向分析 | 第39-41页 |
| ·反向分析流程图 | 第40页 |
| ·应用到ZnO 和ZnS 纳米带 | 第40-41页 |
| ·确定纳米带的杨氏模量 | 第41-42页 |
| ·确定最终解 | 第41-42页 |
| ·解的合理性讨论 | 第42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 横观各向同性ZnO 纳米带的弹性参数 | 第43-54页 |
| ·材料模型的描述及简化 | 第43-44页 |
| ·正向分析 | 第44-49页 |
| ·无量纲分析 | 第44-45页 |
| ·有限元处理 | 第45-46页 |
| ·数值加载曲线 | 第46-48页 |
| ·建立无量纲函数 | 第48-49页 |
| ·反向分析并应用到ZnO 纳米带 | 第49-51页 |
| ·反向分析算法 | 第49-50页 |
| ·ZnO 纳米带的弹性常数 | 第50-51页 |
| ·ZnO 的弹性模量 | 第51-52页 |
| ·弹性模量多组优化解 | 第51-52页 |
| ·解的合理性讨论 | 第52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第5章 总结与展望 | 第54-57页 |
| ·总结 | 第54-55页 |
| ·展望 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文与研究成果 | 第63-64页 |
| 个人简历 | 第64页 |
