RF MEMS开关可靠性研究
| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-17页 |
| ·研究背景与意义 | 第7页 |
| ·MEMS 技术及其特点 | 第7-8页 |
| ·射频 MEMS 技术 | 第8-9页 |
| ·RF MEMS 开关及其可靠性 | 第9-15页 |
| ·RF MEMS 开关 | 第9-13页 |
| ·RF MEMS 开关可靠性分析 | 第13-15页 |
| ·本论文研究内容与结构安排 | 第15-17页 |
| ·研究内容 | 第15-16页 |
| ·结构安排 | 第16-17页 |
| 第2章 开关原理与设计参数 | 第17-28页 |
| ·RF MEMS 开关性能指标 | 第17-19页 |
| ·RF MEMS 电容式开关 | 第19-24页 |
| ·RF MEMS 电容式开关的电磁模型 | 第19-22页 |
| ·RF MEMS 电容式开关的机械模型 | 第22-24页 |
| ·RF MEMS 接触式开关 | 第24-27页 |
| ·RF MEMS 接触式开关的电磁模型 | 第24-26页 |
| ·RF MEMS 接触式开关的机械模型 | 第26-27页 |
| ·小结 | 第27-28页 |
| 第3章 接触式 RF MEMS 开关可靠性 | 第28-49页 |
| ·接触电阻引起的失效 | 第28-30页 |
| ·接触电阻的统计微丘模型 | 第30-35页 |
| ·RF MEMS 开关综合性能设计 | 第35-42页 |
| ·开关有限元分析与仿真 | 第35-37页 |
| ·RF MEMS 开关参数分析与优化 | 第37-42页 |
| ·功率对可靠性的影响 | 第42-48页 |
| ·电流的趋肤效应 | 第42-44页 |
| ·大功率开关的设计 | 第44-48页 |
| ·小结 | 第48-49页 |
| 第4章 电容式 RF MEMS 开关可靠性 | 第49-67页 |
| ·电容式 RF MEMS 开关失效分析 | 第49-52页 |
| ·充电实验模型建立和分析 | 第52-54页 |
| ·电容式开关 SEM 分析 | 第54-56页 |
| ·低压开关的设计 | 第56-64页 |
| ·低压开关参数设计 | 第57-58页 |
| ·开关参数对驱动电压的影响 | 第58-60页 |
| ·射频参数分析与优化 | 第60-61页 |
| ·C-V 特性测试结果及分析 | 第61-64页 |
| ·加工工艺的实现 | 第64-66页 |
| ·小结 | 第66-67页 |
| 第5章 结论与展望 | 第67-69页 |
| ·结论 | 第67页 |
| ·展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第74页 |
