基于多重分形的液动压悬浮抛光基盘流场分析研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| ·课题来源 | 第11页 |
| ·研究的背景和意义 | 第11-13页 |
| ·非晶薄膜衬底制备的研究现状 | 第13-14页 |
| ·液动压抛光技术的研究现状 | 第14-17页 |
| ·动压浮离抛光 | 第14-15页 |
| ·浮法抛光 | 第15-16页 |
| ·液流悬浮加工 | 第16-17页 |
| ·分形理论的研究现状 | 第17-19页 |
| ·分形的发展 | 第17-18页 |
| ·分形理论的应用 | 第18-19页 |
| ·论文研究的主要内容 | 第19-23页 |
| ·主要研究工具 | 第19-21页 |
| ·主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 不同液动压悬浮抛光基盘结构的研究 | 第23-39页 |
| ·引言 | 第23页 |
| ·液动压悬浮抛光基盘模型的简化 | 第23-24页 |
| ·基盘结构与相关参数的理论分析 | 第24-30页 |
| ·三种不同结构化表面的提出 | 第24-25页 |
| ·建立数学模型并进行分析 | 第25-30页 |
| ·流场特性的数值模拟 | 第30-36页 |
| ·计算对象及网格划分 | 第30-31页 |
| ·边界条件设置 | 第31-32页 |
| ·数值模拟结果及讨论 | 第32-35页 |
| ·结果分析 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-39页 |
| 第3章 分形理论及多重分形理论 | 第39-51页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·分形理论 | 第39-43页 |
| ·分形的定义及其性质 | 第39-40页 |
| ·分形维数 | 第40-41页 |
| ·自相似性和标度不变性 | 第41-43页 |
| ·多重分形理论简介 | 第43-49页 |
| ·基于测度理论的多重分形谱的定义 | 第43-44页 |
| ·基于Reny广义维数的多重分形谱的定义 | 第44-45页 |
| ·质量指数、广义维数和多重分形谱之间的关系 | 第45-46页 |
| ·多重分形谱的计算理论 | 第46-49页 |
| ·多重分形理论的应用 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第4章 分形试验方案的设计与方法的建立 | 第51-63页 |
| ·引言 | 第51页 |
| ·试验的总体方案设计 | 第51-55页 |
| ·试验总体方案 | 第51-53页 |
| ·试验研究的技术路线 | 第53页 |
| ·分形试验台设计 | 第53-55页 |
| ·试验方法的建立 | 第55-62页 |
| ·试验主要设备介绍 | 第55-58页 |
| ·液动压悬浮抛光基盘流场特性的拍摄 | 第58-60页 |
| ·流场分形面的提取 | 第60-61页 |
| ·多重分形谱的计算程序设计 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第5章 试验结果的多重分形谱测试及关联性分析 | 第63-83页 |
| ·引言 | 第63页 |
| ·带磨粒流场拍摄结果的分析讨论 | 第63-65页 |
| ·磨粒运动情况的分析讨论 | 第63-65页 |
| ·磨粒分布情况的分析讨论 | 第65页 |
| ·多重分形谱计算的程序实现 | 第65-67页 |
| ·多重分形谱计算流程图 | 第65-66页 |
| ·多重分形谱计算的算法实现 | 第66-67页 |
| ·不带磨粒流场多重分形谱的计算和关联性分析 | 第67-76页 |
| ·不带磨粒流场分形面的提取 | 第67-69页 |
| ·简单盒维数计算 | 第69-71页 |
| ·多重分形质量指数分析 | 第71-72页 |
| ·多重分形谱测试结果以及与转速关系的分析 | 第72-75页 |
| ·多重分形谱与气泡的关联性分析 | 第75-76页 |
| ·带磨粒流场多重分形谱的计算和关联性分析 | 第76-80页 |
| ·带磨粒流场分形面的提取 | 第76-78页 |
| ·多重分形质量指数分析 | 第78页 |
| ·多重分形谱测试结果以及与转速关系的分析 | 第78-80页 |
| ·多重分形谱与磨粒分布的关联性分析 | 第80页 |
| ·液动压悬浮抛光基盘流场的汇总分析 | 第80-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 第6章 结论与展望 | 第83-87页 |
| ·结论 | 第83-84页 |
| ·展望 | 第84-87页 |
| 附录 | 第87-93页 |
| 参考文献 | 第93-97页 |
| 致谢 | 第97-99页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第99页 |
