| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| ·大马士革铜互连线工艺 | 第10-11页 |
| ·超级化学镀填充的定义 | 第11页 |
| ·实现超级化学镀填充的实质分析 | 第11-12页 |
| ·超级化学镀填充的研究背景与进展 | 第12-17页 |
| ·超级化学镀填充的研究意义及内容 | 第17-18页 |
| 第2章 实验方法 | 第18-24页 |
| ·实验材料 | 第18页 |
| ·实验流程 | 第18-21页 |
| ·平面化学镀测定沉积速率实验流程 | 第18-20页 |
| ·超级化学镀填充的实验流程 | 第20页 |
| ·实验结果的评价 | 第20-21页 |
| ·化学镀液的电化学分析 | 第21-22页 |
| ·实验原理 | 第21-22页 |
| ·实验方法 | 第22页 |
| ·实验试剂及设备 | 第22-24页 |
| ·实验试剂 | 第22-23页 |
| ·实验设备 | 第23-24页 |
| 第3章 设计并完成新体系的超级化学镀铜 | 第24-34页 |
| ·引言 | 第24-25页 |
| ·添加2-MBT和PE-3650对化学镀铜沉积速率的影响 | 第25-26页 |
| ·添加剂对道沟填充的影响 | 第26-29页 |
| ·添加剂对不同道沟的超级化学铜填充 | 第26-27页 |
| ·道沟的超级化学铜填充过程 | 第27-29页 |
| ·添加剂对化学镀铜阴阳极极化曲线的影响 | 第29-30页 |
| ·添加剂对化学镀层的影响 | 第30-31页 |
| ·添加剂对化学沉积铜膜致密性的影响 | 第30页 |
| ·添加剂对镀层结构的影响 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-34页 |
| 第4章 单独添加PAA实现超级化学镍填充 | 第34-42页 |
| ·引言 | 第34-35页 |
| ·PAA简介 | 第35页 |
| ·添加不同浓度的PAA对化学镀镍沉积速率的影响 | 第35-36页 |
| ·添加PAA对道沟填充的影响 | 第36-39页 |
| ·PAA对不同规格道沟的超级化学镍填充 | 第36-37页 |
| ·PAA对道沟的超级化学镀镍填充过程 | 第37-39页 |
| ·添加PAA对化学镀镍阴阳极极化曲线的影响 | 第39-40页 |
| ·添加PAA对化学镀层表面形貌影响 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第5章 2-巯基苯并噻唑对化学镀铜的影响 | 第42-50页 |
| ·引言 | 第42-43页 |
| ·添加2-MBT对化学镀铜沉积速率的影响 | 第43-44页 |
| ·添加2-MBT对化学镀铜阴阳极极化曲线的影响 | 第44-45页 |
| ·添加2-MBT对化学镀铜沉积铜膜表面形貌的影响 | 第45页 |
| ·添加2-MBT对化学镀层的影响 | 第45-47页 |
| ·2-MBT对化学镀铜沉积铜膜纯度的影响 | 第45-46页 |
| ·2-MBT对化学镀铜沉积铜膜平整性的影响 | 第46-47页 |
| ·添加2-MBT对化学镀铜沉积铜膜性能的影响 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 全文总结 | 第50-54页 |
| 参考文献 | 第54-62页 |
| 致谢 | 第62-64页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第64页 |