| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-21页 |
| ·渗氮原理 | 第10-12页 |
| ·气体渗氮 | 第12-14页 |
| ·盐浴渗氮 | 第14页 |
| ·离子渗氮 | 第14-19页 |
| ·直流离子渗氮 | 第14-15页 |
| ·直流脉冲离子渗氮 | 第15页 |
| ·活性屏离子渗氮 | 第15-16页 |
| ·等离子体源离子渗氮 | 第16-17页 |
| ·等离子体浸没离子注入 | 第17-18页 |
| ·中心辅助等离子体源离子注入 | 第18页 |
| ·栅极增强等离子体源离子注入 | 第18-19页 |
| ·其他渗氮方法 | 第19-21页 |
| 2 实验原理与实验方案设计 | 第21-30页 |
| ·实验原理 | 第21-27页 |
| ·辉光放电 | 第21-23页 |
| ·离子渗氮原理 | 第23-25页 |
| ·空心阴极效应 | 第25-27页 |
| ·实验方案设计 | 第27-30页 |
| ·实验方案 | 第27-28页 |
| ·实验参数选择 | 第28-30页 |
| 3 实验过程和测试方法 | 第30-37页 |
| ·实验过程 | 第30-33页 |
| ·实验设备 | 第30-31页 |
| ·实验材料 | 第31-32页 |
| ·实验过程 | 第32页 |
| ·实验工艺参数 | 第32-33页 |
| ·测试方法 | 第33-37页 |
| ·金相显微镜 | 第33页 |
| ·X射线衍射仪 | 第33-35页 |
| ·显微维氏硬度计 | 第35-36页 |
| ·摩擦磨损实验机 | 第36-37页 |
| 4 实验参数对直流脉冲空心阴极离子渗氮结构和性能的影响 | 第37-62页 |
| ·渗氮电流对渗氮层结构和性能的影响 | 第37-43页 |
| ·渗氮电流对渗氮层表面形貌的影响 | 第37-38页 |
| ·渗氮电流对渗氮层厚度的影响 | 第38-39页 |
| ·渗氮电流对渗氮层相结构的影响 | 第39-40页 |
| ·渗氮电流对渗氮层硬度的影响 | 第40-41页 |
| ·渗氮电流对渗氮层摩擦性能的影响 | 第41-43页 |
| ·本节小结 | 第43页 |
| ·渗氮压强对渗氮层结构和性能的影响 | 第43-49页 |
| ·渗氮压强对渗氮层表面形貌的影响 | 第43-44页 |
| ·渗氮压强对渗氮层厚度的影响 | 第44-45页 |
| ·渗氮压强对渗氮层相结构的影响 | 第45-46页 |
| ·渗氮压强对渗氮层硬度的影响 | 第46-47页 |
| ·渗氮压强对渗氮层摩擦性能的影响 | 第47-49页 |
| ·本节小结 | 第49页 |
| ·渗氮N_2含量对渗氮层结构和性能的影响 | 第49-54页 |
| ·渗氮N_2含量对渗氮层表面形貌的影响 | 第49-50页 |
| ·渗氮N_2含量对渗氮层厚度的影响 | 第50-51页 |
| ·渗氮N_2含量对渗氮层相结构的影响 | 第51-52页 |
| ·渗氮N_2含量对渗氮层硬度的影响 | 第52页 |
| ·渗氮N_2含量对渗氮层摩擦性能的影响 | 第52-54页 |
| ·本节小结 | 第54页 |
| ·渗氮时间对渗氮层结构和性能的影响 | 第54-62页 |
| ·渗氮时间对渗氮层表面形貌的影响 | 第54-55页 |
| ·渗氮时间对渗氮层厚度的影响 | 第55-56页 |
| ·渗氮时间对渗氮层相结构的影响 | 第56-58页 |
| ·渗氮时间对渗氮层硬度的影响 | 第58-59页 |
| ·渗氮时间对渗氮层耐磨性能的影响 | 第59-61页 |
| ·本节小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |