硅基MEMS滤波器的特性研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-8页
第一章 引言	第8-13页
·MEMS(微电子机械系统)的介绍	第8-10页
·RF MEMS的产生和发展	第10-12页
·本论文的主要工作及结构	第12-13页
第二章 MEMS的工艺及滤波器的基本概念	第13-28页
·集成电路与MEMS的材料	第13-14页
·MEMS的工艺	第14-19页
·微机械加工技术	第16-18页
·MEMS的封装技术	第18-19页
·滤波器简介和参数介绍	第19-28页
·滤波器的简介	第19-20页
·滤波器的参数介绍	第20-22页
·切比雪夫低通滤波器原型	第22-25页
·带通滤波器的频率变换	第25-28页
第三章 硅基MEMS滤波器的设计实现	第28-46页
·SIR结构滤波器的基本理论	第28-34页
·SIR的基本结构	第28-32页
·阻抗和导纳变换器的定义	第32-34页
·金属通孔及其等效电路	第34-37页
·边缘金属通孔等效金属壁	第34-35页
·感性金属通孔的等效分析	第35-37页
·MEMS滤波器的仿真设计	第37-46页
·MEMS滤波器的模型分析	第37-41页
·MEMS滤波器的仿真设计	第41-46页
第四章 C波段孔耦合微带滤波器的设计	第46-59页
·孔耦合微带滤波器的结构特点	第46-50页
·SIW和HMSIW背景概述	第46-48页
·C波段孔耦合微带滤波器的结构	第48-50页
·孔耦合微带滤波器基本理论	第50-51页
·孔耦合微带滤波器的仿真设计	第51-55页
·孔耦合微带滤波器的模型分析	第51-53页
·滤波器模型的仿真设计	第53-55页
·孔耦合带通滤波器的加工测试	第55-59页
第五章 总结	第59-60页
致谢	第60-61页
参考文献	第61-64页
攻硕期间取得的科研成果	第64页