| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-9页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·发展现状 | 第7-8页 |
| ·课题研究的目的及意义 | 第8-9页 |
| 第二章 薄膜的基础理论 | 第9-16页 |
| ·薄膜的反射率 | 第9-11页 |
| ·等效折射率的计算 | 第11-13页 |
| ·截止带的宽度及展宽 | 第13-16页 |
| 第三章 高通滤光片的膜系设计 | 第16-29页 |
| ·薄膜的吸收与散射 | 第16-18页 |
| ·基底及膜料的选取 | 第18-20页 |
| ·薄膜的附着力与应力匹配 | 第20-22页 |
| ·抗激光损伤 | 第22页 |
| ·膜系设计 | 第22-29页 |
| 第四章 实验设备及工艺 | 第29-41页 |
| ·实验设备 | 第29-30页 |
| ·监控方法 | 第30-34页 |
| ·离子源辅助沉积 | 第34页 |
| ·均匀性的改善 | 第34-36页 |
| ·制备工艺 | 第36-38页 |
| ·反射板的测试 | 第38-41页 |
| 第五章 试验结果与测试分析 | 第41-43页 |
| ·测试结果 | 第41-42页 |
| ·误差的分析 | 第42页 |
| ·性能测试 | 第42-43页 |
| 第六章 总结 | 第43-44页 |
| 致谢 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-47页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第47页 |