| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-15页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·激光钻孔国内外发展现状与趋势 | 第10-13页 |
| ·课题意义、研究目标以及技术方案 | 第13-14页 |
| ·论文结构 | 第14-15页 |
| 2 紫外激光钻孔系统设计与实现 | 第15-23页 |
| ·激光钻孔实验设备概述 | 第15-17页 |
| ·激光钻孔用光学系统 | 第17-19页 |
| ·远心聚焦透镜的选取原则 | 第19-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 3 紫外激光钻孔机理、材料与实验工艺方案 | 第23-34页 |
| ·前言 | 第23页 |
| ·紫外激光钻孔机理与分类 | 第23-29页 |
| ·实验材料 | 第29-30页 |
| ·实验工艺方案 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 4 柔性线路板紫外激光定点钻孔实验研究 | 第34-57页 |
| ·前言 | 第34页 |
| ·激光器输出的光束质量 | 第34-37页 |
| ·紫外激光钻孔的工艺质量控制规律 | 第37-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 5 柔性线路板紫外激光定点-同心圆复合钻盲孔实验研究 | 第57-75页 |
| ·前言 | 第57页 |
| ·实验材料、加工要求及方法 | 第57-59页 |
| ·单脉冲刻蚀率的模拟 | 第59-63页 |
| ·FPC 盲孔加工实验研究 | 第63-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 6 总结与展望 | 第75-77页 |
| ·主要结论 | 第75-76页 |
| ·课题展望 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-81页 |