| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-24页 |
| ·薄膜材料简介 | 第12-13页 |
| ·薄膜材料的应用 | 第13-15页 |
| ·薄膜材料的国内外研究现状 | 第15-20页 |
| ·微纳电机系统国内外发展现状 | 第15-16页 |
| ·薄膜材料力学性能研究现状 | 第16-20页 |
| ·表面应力对纳米材料及结构力学性能的影响 | 第20-22页 |
| ·悬臂矩形板弯曲变形解答 | 第22页 |
| ·本文研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 残余表面力作用下悬臂矩形板的弯曲变形 | 第24-38页 |
| ·引言 | 第24-25页 |
| ·残余表面力作用下悬臂矩形板的弯曲变形 | 第25-31页 |
| ·弯曲变形计算结果及讨论 | 第31-37页 |
| ·本章结论 | 第37-38页 |
| 第三章 残余表面力作用下悬臂矩形板的面内变形 | 第38-67页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·残余表面力作用下悬臂矩形板的面内变形 | 第38-47页 |
| ·面内变形计算结果与讨论 | 第47-66页 |
| ·本章结论 | 第66-67页 |
| 第四章 考虑表面弹性影响下纳米悬臂矩形板的弯曲变形 | 第67-83页 |
| ·引言 | 第67页 |
| ·表面弹性对悬臂矩形板抗弯刚度的影响 | 第67-72页 |
| ·纳米悬臂矩形板在自由端中点受集中载荷作用的挠度 | 第72-78页 |
| ·计算结果与讨论 | 第78-81页 |
| ·本章结论 | 第81-83页 |
| 结论与展望 | 第83-86页 |
| 1 结论 | 第83-85页 |
| 2 展望 | 第85-86页 |
| 参考文献 | 第86-89页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第89-90页 |
| 致谢 | 第90-91页 |
| 附件 | 第91页 |