飞秒激光诱导金属和铁电晶体表面烧蚀及畴反转的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·飞秒激光的微加工优势 | 第10-12页 |
| ·加工材料的广泛性 | 第11页 |
| ·加工过程的非热熔性和高加工质量 | 第11页 |
| ·加工尺度的亚微米特性和可实现三维加工 | 第11-12页 |
| ·加工能量的低耗性 | 第12页 |
| ·飞秒激光与材料的相互作用 | 第12-14页 |
| ·折射率变化 | 第13页 |
| ·微爆炸 | 第13页 |
| ·飞秒激光烧蚀 | 第13页 |
| ·双光子聚合 | 第13-14页 |
| ·材料的自组装 | 第14页 |
| ·飞秒激光的微加工应用 | 第14-20页 |
| ·波导制作 | 第14-16页 |
| ·光栅制作 | 第16页 |
| ·制作光存储结构 | 第16-17页 |
| ·光子晶体 | 第17-18页 |
| ·微光学元件 | 第18页 |
| ·双光子聚合 | 第18-19页 |
| ·制作金属掩膜板 | 第19-20页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第20-21页 |
| ·参考文献 | 第21-24页 |
| 第二章 飞秒激光烧蚀金属靶的实验研究 | 第24-43页 |
| ·飞秒激光与金属相互作用机理 | 第24-27页 |
| ·电子的光激发与加热 | 第24-25页 |
| ·晶格的加热 | 第25-26页 |
| ·材料的去除 | 第26-27页 |
| ·超短脉冲金属微加工研究现状 | 第27-30页 |
| ·飞秒激光金属靶烧蚀阈值的测量 | 第30-37页 |
| ·实验系统 | 第30-32页 |
| ·实验过程 | 第32-33页 |
| ·激光表面烧蚀阈值计算理论 | 第33页 |
| ·实验结果及计算讨论 | 第33-37页 |
| ·飞秒激光金属钻孔 | 第37-39页 |
| ·实验结果及分析 | 第37-38页 |
| ·优化方案及效果 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| ·参考文献 | 第40-43页 |
| 第三章飞秒激光烧蚀金属靶的理论研究 | 第43-57页 |
| ·飞秒激光烧蚀金属靶的理论研究现状 | 第43-45页 |
| ·双温模型及各参数的取值 | 第45-47页 |
| ·双温模型的一般形式 | 第45页 |
| ·各参数的取值 | 第45-47页 |
| ·一维双温模型单脉冲作用模拟 | 第47-50页 |
| ·一维双温模型 | 第47-48页 |
| ·有限元差分法 | 第48页 |
| ·一维双温模型单脉冲烧蚀模拟结果及分析 | 第48-50页 |
| ·二维双温模型单、多脉冲烧蚀模拟 | 第50-53页 |
| ·二维双温模型 | 第50页 |
| ·二维双温模型计算单脉冲烧蚀孔径 | 第50-52页 |
| ·二维双温模型计算多脉冲钻孔脉冲数 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| ·参考文献 | 第54-57页 |
| 第四章飞秒激光对铁电晶体表面烧蚀实验研究 | 第57-68页 |
| ·铌酸锂晶体结构及性质 | 第57-59页 |
| ·短脉冲作用下透明介质破坏机制 | 第59-61页 |
| ·非线性电离 | 第59-60页 |
| ·等离子体的自由载流子吸收 | 第60-61页 |
| ·飞秒激光作用下透明介质破坏过程 | 第61页 |
| ·铌酸锂及掺镁铌酸锂表面烧蚀实验及结果 | 第61-64页 |
| ·实验安排 | 第61页 |
| ·实验结果和分析 | 第61-64页 |
| ·镁掺杂对烧蚀阈值的影响原因 | 第64-66页 |
| ·色心理论 | 第64页 |
| ·铌酸锂缺陷模型 | 第64-65页 |
| ·掺杂提高烧蚀阈值的原因分析 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66页 |
| ·参考文献 | 第66-68页 |
| 第五章飞秒激光诱导铁电晶体畴反转结构的实验研究 | 第68-80页 |
| ·畴反转的传统制备方法 | 第68-71页 |
| ·电场极化法 | 第68-69页 |
| ·电子束极化法 | 第69-70页 |
| ·光场辅助极化法 | 第70页 |
| ·全光极化法 | 第70-71页 |
| ·飞秒激光诱导畴反转的理论模型 | 第71-73页 |
| ·飞秒激光诱导畴反转的实验研究 | 第73-77页 |
| ·实验安排及过程 | 第73-74页 |
| ·实验结果及分析 | 第74-76页 |
| ·反转厚度测量 | 第76-77页 |
| ·镁掺杂对诱导的影响 | 第77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| ·参考文献 | 第78-80页 |
| 第六章 全文总结 | 第80-83页 |
| ·主要结论 | 第80-81页 |
| ·研究展望 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第84-86页 |