基于MEMS平面变压器螺旋电感的研究及设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-14页 |
| ·课题研究意义研究背景 | 第10-11页 |
| ·硅基片上电感和平面变压器的国内外研究概况 | 第11-13页 |
| ·本文的主要内容 | 第13-14页 |
| 第二章 平面变压器综述 | 第14-25页 |
| ·平面变压器理论基础 | 第14-17页 |
| ·平面变压器的基本电路模型 | 第15-16页 |
| ·平面变压器的技术参数 | 第16-17页 |
| ·平面变压器的结构 | 第17-24页 |
| ·片上螺旋电感实现的主要技术 | 第17-20页 |
| ·片上螺旋电感的性能指标 | 第20-21页 |
| ·MEMS 平面变压器的结构形式 | 第21-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 MEMS 硅片上螺旋电感的研究与分析 | 第25-39页 |
| ·硅基片上电感的损耗 | 第25-27页 |
| ·硅基衬底损耗分析 | 第25-26页 |
| ·金属损耗分析 | 第26-27页 |
| ·硅基片上电感性能指指标 | 第27-31页 |
| ·硅基片上电感的电感量计算 | 第27-30页 |
| ·硅基片上电感的 Q 值和频率 f 的计算 | 第30-31页 |
| ·硅基片上电感软件的模拟仿真 | 第31-34页 |
| ·提高硅基片上电感 Q 值的方法 | 第34-36页 |
| ·MEMS 片上电感加工技术 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 基于硅基底高变压比平面变压器的研究与设计 | 第39-53页 |
| ·平面变压器结构研究与分析 | 第39-42页 |
| ·线圈的选择及厚度的分析 | 第39-40页 |
| ·绕组绝缘分析 | 第40-41页 |
| ·绕组漏感分析 | 第41-42页 |
| ·平面变压器模拟仿真 | 第42-46页 |
| ·平面变压器的结构设计 | 第46-49页 |
| ·平面变压器的散热研究分析 | 第49-51页 |
| ·MEMS 工艺技术的应用 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 制造工艺及检测 | 第53-59页 |
| ·硅基平面变压器的生产加工 | 第53-55页 |
| ·材料及尺寸的确定 | 第53-55页 |
| ·硅基平面变压器加工流程 | 第55页 |
| ·硅基平面变压器的检测 | 第55-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 总结与展望 | 第59-61页 |
| ·总结 | 第59-60页 |
| ·展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 附录 | 第65-70页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第70-71页 |
