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基于MEMS平面变压器螺旋电感的研究及设计

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第一章 引言第9-14页
   ·课题研究意义研究背景第10-11页
   ·硅基片上电感和平面变压器的国内外研究概况第11-13页
   ·本文的主要内容第13-14页
第二章 平面变压器综述第14-25页
   ·平面变压器理论基础第14-17页
     ·平面变压器的基本电路模型第15-16页
     ·平面变压器的技术参数第16-17页
   ·平面变压器的结构第17-24页
     ·片上螺旋电感实现的主要技术第17-20页
     ·片上螺旋电感的性能指标第20-21页
     ·MEMS 平面变压器的结构形式第21-24页
   ·本章小结第24-25页
第三章 MEMS 硅片上螺旋电感的研究与分析第25-39页
   ·硅基片上电感的损耗第25-27页
     ·硅基衬底损耗分析第25-26页
     ·金属损耗分析第26-27页
   ·硅基片上电感性能指指标第27-31页
     ·硅基片上电感的电感量计算第27-30页
     ·硅基片上电感的 Q 值和频率 f 的计算第30-31页
   ·硅基片上电感软件的模拟仿真第31-34页
   ·提高硅基片上电感 Q 值的方法第34-36页
   ·MEMS 片上电感加工技术第36-38页
   ·本章小结第38-39页
第四章 基于硅基底高变压比平面变压器的研究与设计第39-53页
   ·平面变压器结构研究与分析第39-42页
     ·线圈的选择及厚度的分析第39-40页
     ·绕组绝缘分析第40-41页
     ·绕组漏感分析第41-42页
   ·平面变压器模拟仿真第42-46页
   ·平面变压器的结构设计第46-49页
   ·平面变压器的散热研究分析第49-51页
   ·MEMS 工艺技术的应用第51-52页
   ·本章小结第52-53页
第五章 制造工艺及检测第53-59页
   ·硅基平面变压器的生产加工第53-55页
     ·材料及尺寸的确定第53-55页
     ·硅基平面变压器加工流程第55页
   ·硅基平面变压器的检测第55-58页
   ·本章小结第58-59页
第六章 总结与展望第59-61页
   ·总结第59-60页
   ·展望第60-61页
致谢第61-62页
参考文献第62-65页
附录第65-70页
攻硕期间取得的研究成果第70-71页

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