基于积分电荷的压电自感知微夹钳的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-14页 |
| ·研究背景与意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-13页 |
| ·本论文的主要工作 | 第13-14页 |
| 2 微夹钳的结构设计及有限元分析 | 第14-20页 |
| ·微夹钳的结构设计 | 第14-15页 |
| ·微夹钳的驱动原理 | 第15页 |
| ·微夹钳的有限元分析 | 第15-19页 |
| ·有限元分析模型 | 第15-16页 |
| ·静力分析 | 第16-17页 |
| ·频率响应分析 | 第17-18页 |
| ·阶跃响应分析 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 3 压电微夹钳输的出特性 | 第20-40页 |
| ·微夹钳输出位移同驱动电压的关系 | 第20-25页 |
| ·微夹钳位移特性测试 | 第25-36页 |
| ·实验系统构成 | 第25-28页 |
| ·静态位移特性测试 | 第28-31页 |
| ·动态位移特性测试 | 第31-36页 |
| ·微夹钳的固有频率测试 | 第36-39页 |
| ·实验系统构成 | 第36-38页 |
| ·测试结果 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4 钳指位移与夹持力的自感知 | 第40-67页 |
| ·钳指位移与夹持力的自感知原理 | 第40-46页 |
| ·双晶片压电执行器输入输出特性方程推导 | 第40-43页 |
| ·压电微夹钳的自感知电路 | 第43-46页 |
| ·非夹持状态的位移自感知 | 第46-60页 |
| ·非夹持状态自感知方程 | 第46-47页 |
| ·静态位移自感知实验 | 第47-50页 |
| ·动态位移自感知实验 | 第50-60页 |
| ·夹持状态力的自感知 | 第60-62页 |
| ·夹持力测试实验 | 第62-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 5 结论与展望 | 第67-69页 |
| ·结论 | 第67-68页 |
| ·进一步工作展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 附录 | 第72-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
