电容式微机械谐振器与滤波器
| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-12页 |
| ·微电子机械系统（MEMS）简介 | 第6-7页 |
| ·射频MEMS（RF MEMS）简介 | 第7-8页 |
| ·微机械谐振器和滤波器 | 第8-10页 |
| ·微机械谐振器和滤波器简介 | 第8-9页 |
| ·微机械谐振器滤波器在射频系统中的应用 | 第9-10页 |
| ·本论文工作 | 第10页 |
| 本章参考文献 | 第10-12页 |
| 第二章 谐振器的设计 | 第12-32页 |
| ·微机械谐振的结构设计 | 第12-22页 |
| ·几种常见的微机械谐振器结构 | 第12-14页 |
| ·基于梁结构的MEMS 谐振器结构设计 | 第14-17页 |
| ·MEMS 谐振器的Q 值 | 第17-20页 |
| ·MEMS 谐振器的能量转换 | 第20-22页 |
| ·机电类比和微机械谐振器的电学仿真 | 第22-31页 |
| ·机电类比的原理 | 第22-24页 |
| ·谐振器的等效电路 | 第24-26页 |
| ·谐振器的电学仿真 | 第26-31页 |
| 本章参考文献 | 第31-32页 |
| 第三章 微机械谐振器的工艺 | 第32-42页 |
| ·微机械谐振器滤波器的工艺设计 | 第32-35页 |
| ·工艺设计的考虑 | 第32-33页 |
| ·主要工艺流程 | 第33-35页 |
| ·工艺中遇到的问题以及解决方法 | 第35-40页 |
| ·金属Al 的腐蚀和保护方法 | 第35-37页 |
| ·电化学腐蚀现象的研究 | 第37-40页 |
| 本章参考文献 | 第40-42页 |
| 第四章 微机械谐振器的测试 | 第42-52页 |
| ·芯片级空气测试平台的搭建 | 第42-44页 |
| ·器件级真空测试平台的搭建 | 第44-46页 |
| ·谐振器的测试结果 | 第46-50页 |
| 本章参考文献 | 第50-52页 |
| 第五章 微机械滤波器 | 第52-62页 |
| ·微机械滤波器介绍 | 第52-54页 |
| ·微机械滤波器的设计 | 第54-59页 |
| ·滤波器的机电等效分析 | 第54-56页 |
| ·滤波器的仿真和模拟 | 第56-59页 |
| ·微机械滤波器的测试 | 第59-60页 |
| 本章参考文献 | 第60-62页 |
| 第六章 工作总结与展望 | 第62-65页 |
| ·工作总结 | 第62页 |
| ·未来工作展望 | 第62-64页 |
| 本章参考文献 | 第64-65页 |
| 作者在攻读硕士学位期间发表论文 | 第65-66页 |
| 附录 | 第66-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
