| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 图目录 | 第9-11页 |
| 表目录 | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-23页 |
| ·概述 | 第12-13页 |
| ·研究的意义及国内外研究状况 | 第13-21页 |
| ·研究意义 | 第13-14页 |
| ·国内外相关技术的发展和研究状况 | 第14-21页 |
| ·本文内容的安排 | 第21-23页 |
| 第二章 静电驱动压电检测微机械陀螺仪的模态分析 | 第23-35页 |
| ·引言 | 第23页 |
| ·静电驱动压电检测微机械陀螺的结构和工作原理 | 第23-28页 |
| ·压电效应的基本原理 | 第24-25页 |
| ·压电薄膜的布置形式 | 第25-28页 |
| ·静电驱动压电检测微机械陀螺的模态分析 | 第28-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 静电驱动压电检测微机械陀螺动力学方程的建立 | 第35-50页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·静电驱动的分析 | 第35-37页 |
| ·静电驱动压电检测微机械陀螺振动方程的建立 | 第37-39页 |
| ·弹性梁的分析 | 第39-46页 |
| ·卡氏第二定理 | 第39-41页 |
| ·弹性梁的受力分析 | 第41-45页 |
| ·弹性梁的刚度 | 第45-46页 |
| ·数值计算 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 静电驱动压电检测微机械陀螺仪静力分析 | 第50-60页 |
| ·假设条件 | 第50页 |
| ·微机械陀螺方程的推导 | 第50-57页 |
| ·具有单层压电薄膜的陀螺方程推导 | 第51-55页 |
| ·具有双层压电薄膜的陀螺仪方程推导 | 第55-57页 |
| ·电荷与输入角速度的关系 | 第57-58页 |
| ·数值计算 | 第58-59页 |
| ·单层压电薄膜 | 第58-59页 |
| ·双层压电薄膜 | 第59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 结束语 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 致谢 | 第64页 |