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大面积玻璃基片磁控溅射镀膜膜层性质和特性的研究

摘要第1-6页
Abstract第6-11页
绪言第11-12页
第一章 玻璃第12-13页
第二章 玻璃深加工第13-14页
第三章 溅射镀膜第14-15页
   ·直流溅射第14页
   ·射频溅射第14页
   ·反应溅射第14页
   ·磁控溅射第14-15页
第四章 磁控溅射第15-18页
   ·直流磁控溅射第15页
   ·反应磁控溅射第15页
   ·偏压磁控溅射第15页
   ·中频磁控溅射和脉冲磁控溅射第15-16页
   ·磁控溅射的阴极第16页
   ·磁控溅射气体放电激励的类型第16-18页
第五章 玻璃镀膜膜层品质和特性第18-54页
   ·针孔第18-19页
   ·结合力第19-22页
   ·耐磨性第22-24页
   ·均匀性第24-35页
   ·化学稳定性第35-39页
   ·光学特性第39-48页
   ·热学特性第48-52页
   ·电学特性第52-54页
第六章 结束语第54-55页
参考文献第55-56页

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