摘要 | 第1-6页 |
Abstract | 第6-11页 |
绪言 | 第11-12页 |
第一章 玻璃 | 第12-13页 |
第二章 玻璃深加工 | 第13-14页 |
第三章 溅射镀膜 | 第14-15页 |
·直流溅射 | 第14页 |
·射频溅射 | 第14页 |
·反应溅射 | 第14页 |
·磁控溅射 | 第14-15页 |
第四章 磁控溅射 | 第15-18页 |
·直流磁控溅射 | 第15页 |
·反应磁控溅射 | 第15页 |
·偏压磁控溅射 | 第15页 |
·中频磁控溅射和脉冲磁控溅射 | 第15-16页 |
·磁控溅射的阴极 | 第16页 |
·磁控溅射气体放电激励的类型 | 第16-18页 |
第五章 玻璃镀膜膜层品质和特性 | 第18-54页 |
·针孔 | 第18-19页 |
·结合力 | 第19-22页 |
·耐磨性 | 第22-24页 |
·均匀性 | 第24-35页 |
·化学稳定性 | 第35-39页 |
·光学特性 | 第39-48页 |
·热学特性 | 第48-52页 |
·电学特性 | 第52-54页 |
第六章 结束语 | 第54-55页 |
参考文献 | 第55-56页 |