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射频磁控溅射制备锰掺杂二氧化钛薄膜的结构及物性研究

摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第一章 绪论第10-22页
   ·稀磁半导体第10-15页
     ·稀磁半导体第10-11页
     ·稀磁半导体的铁磁性机理第11-13页
     ·稀磁半导体的研究进展第13-15页
   ·TiO_2 基稀磁半导体第15-21页
     ·TiO_2 的基本特点第15-17页
     ·TiO_2 的能带结构第17-18页
     ·过渡族金属掺杂的TiO_2第18-20页
     ·本文选题依据第20-21页
   ·本文的研究内容、研究方法第21-22页
     ·研究内容第21页
     ·研究方法第21-22页
第二章 薄膜的制备方法和测试手段第22-41页
   ·薄膜的制备方法第22-25页
     ·物理气相沉积(PVD)第22-23页
     ·分子束外延(Molecular Beam Epitaxy)第23页
     ·脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition)第23页
     ·化学气相沉积(CVD)第23-24页
     ·化学溶液镀膜法第24-25页
     ·溶胶—凝胶法第25页
   ·磁控溅射的原理第25-28页
   ·样品的测试手段第28页
   ·测试手段的基本原理第28-41页
     ·X 射线衍射(XRD)第28-30页
     ·X-射线光电子能谱(X-ray Photoelectron Spectroscopy, XPS)第30-31页
     ·激光拉曼散射光谱第31-33页
     ·紫外-可见分光光度计(UV-VIS spectrophotometer)第33页
     ·振动样品磁强计(VSM)第33页
     ·扫描电子显微镜(SEM)和X 射线能谱(EDX)第33-38页
     ·透射电子显微镜(TEM)第38-41页
第三章 样品的制备和结构研究第41-52页
   ·样品的制备第41-43页
   ·薄膜的晶体结构结构研究第43-44页
   ·Mn 在薄膜中的存在形式第44-51页
     ·Mn 含量的测定第44-47页
     ·Mn 在薄膜中的化学状态第47-51页
   ·小结第51-52页
第四章 薄膜的电子显微镜研究第52-65页
   ·薄膜的扫描电子显微镜研究第52-55页
   ·薄膜的透射电子显微镜研究第55-64页
     ·总体特征研究第57-62页
     ·局部特征研究第62-64页
   ·小结第64-65页
第五章 薄膜的物性研究第65-70页
   ·薄膜的铁磁性第65-66页
   ·薄膜的磁性与结构的关系第66-67页
   ·薄膜的光学特性研究第67-69页
   ·小结第69-70页
结论第70-71页
参考文献第71-76页
攻读硕士期间发表的论文第76-77页
致谢第77页

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