中文摘要 | 第1-6页 |
Abstract | 第6-10页 |
第一章 综述 | 第10-26页 |
·空间飞行器活动机构部组件及润滑技术 | 第10-15页 |
·非平衡磁控溅射沉积MoS_2-Ti复合薄膜制备技术 | 第15-20页 |
·研究目的和主要研究内容 | 第20-21页 |
参考文献 | 第21-26页 |
第二章 研究试验方法 | 第26-33页 |
·样品制备方法 | 第26-29页 |
·分析、测试及试验方法 | 第29-31页 |
参考文献 | 第31-33页 |
第三章 溅射靶功率参数研究 | 第33-56页 |
·工艺参数变化 | 第33-35页 |
·组织结构表征 | 第35-42页 |
·性能测试和试验 | 第42-53页 |
·小结 | 第53-54页 |
参考文献 | 第54-56页 |
第四章 非平衡磁控线圈电流参数研究 | 第56-68页 |
·工艺参数变化 | 第56-57页 |
·组织结构表征 | 第57-60页 |
·性能测试和试验 | 第60-66页 |
·小结 | 第66-67页 |
参考文献 | 第67-68页 |
第五章 工件台偏压参数研究 | 第68-81页 |
·工艺参数变化 | 第68-69页 |
·组织结构表征 | 第69-73页 |
·性能测试和试验 | 第73-79页 |
·小结 | 第79页 |
参考文献 | 第79-81页 |
第六章 其它工艺参数研究 | 第81-99页 |
·工作气体流量的影响 | 第81-87页 |
·工件台转速的影响 | 第87-91页 |
·沉积温度的影响 | 第91-95页 |
·沉积时间的影响 | 第95-97页 |
·小结 | 第97-98页 |
参考文献 | 第98-99页 |
第七章 不同工况下薄膜真空摩擦学性能研究 | 第99-108页 |
·载荷的影响 | 第99-101页 |
·转速的影响 | 第101-103页 |
·基底材料的影响 | 第103-106页 |
·小结 | 第106页 |
参考文献 | 第106-108页 |
第八章 空间典型活动件应用研究 | 第108-122页 |
·轴承精度等级变化 | 第108-111页 |
·大气防潮能力 | 第111-115页 |
·真空运转性能 | 第115-120页 |
·小结 | 第120页 |
参考文献 | 第120-122页 |
第九章 结论与展望 | 第122-125页 |
·结论 | 第122-124页 |
·展望 | 第124-125页 |
在读期间已发表的论文 | 第125-126页 |
致谢 | 第126页 |