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非平衡磁控溅射沉积MoS2-Ti复合薄膜研究

中文摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第一章 综述第10-26页
   ·空间飞行器活动机构部组件及润滑技术第10-15页
   ·非平衡磁控溅射沉积MoS_2-Ti复合薄膜制备技术第15-20页
   ·研究目的和主要研究内容第20-21页
 参考文献第21-26页
第二章 研究试验方法第26-33页
   ·样品制备方法第26-29页
   ·分析、测试及试验方法第29-31页
 参考文献第31-33页
第三章 溅射靶功率参数研究第33-56页
   ·工艺参数变化第33-35页
   ·组织结构表征第35-42页
   ·性能测试和试验第42-53页
   ·小结第53-54页
 参考文献第54-56页
第四章 非平衡磁控线圈电流参数研究第56-68页
   ·工艺参数变化第56-57页
   ·组织结构表征第57-60页
   ·性能测试和试验第60-66页
   ·小结第66-67页
 参考文献第67-68页
第五章 工件台偏压参数研究第68-81页
   ·工艺参数变化第68-69页
   ·组织结构表征第69-73页
   ·性能测试和试验第73-79页
   ·小结第79页
 参考文献第79-81页
第六章 其它工艺参数研究第81-99页
   ·工作气体流量的影响第81-87页
   ·工件台转速的影响第87-91页
   ·沉积温度的影响第91-95页
   ·沉积时间的影响第95-97页
   ·小结第97-98页
 参考文献第98-99页
第七章 不同工况下薄膜真空摩擦学性能研究第99-108页
   ·载荷的影响第99-101页
   ·转速的影响第101-103页
   ·基底材料的影响第103-106页
   ·小结第106页
 参考文献第106-108页
第八章 空间典型活动件应用研究第108-122页
   ·轴承精度等级变化第108-111页
   ·大气防潮能力第111-115页
   ·真空运转性能第115-120页
   ·小结第120页
 参考文献第120-122页
第九章 结论与展望第122-125页
   ·结论第122-124页
   ·展望第124-125页
在读期间已发表的论文第125-126页
致谢第126页

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