| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 1. 绪论 | 第7-17页 |
| ·等离子体概述 | 第7-8页 |
| ·低温等离子体的研究背景及意义 | 第8-11页 |
| ·射频偏压等离子体的研究现状 | 第11-14页 |
| ·离子能量分布和角度分布的研究进展 | 第14-16页 |
| ·本文内容简介及结构安排 | 第16-17页 |
| 2. 物理模型和数值方法 | 第17-23页 |
| ·流体动力学理论模型 | 第17-19页 |
| ·数值方法 | 第19-20页 |
| ·边界及初始条件 | 第20页 |
| ·二维问题 | 第20-23页 |
| 3. 流体动力学模拟结果 | 第23-33页 |
| ·一维数值结果 | 第23-27页 |
| ·二维数值结果 | 第27-33页 |
| 4. 碰撞效应对极板上离子能量和角度分布的影响 | 第33-37页 |
| ·蒙特卡罗方法 | 第33页 |
| ·粒子输运中的碰撞效应 | 第33-37页 |
| 5. 极板上离子的能量和角度分布 | 第37-48页 |
| ·一维数值结果 | 第37-41页 |
| ·二维数值结果 | 第41-48页 |
| 结论 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-53页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |