面向MEMS非制冷红外探测器的多孔硅绝热层及力学性能研究

中文摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-8页
第一章 绪论	第8-18页
·MEMS技术简介	第8-12页
·M EMS的特点	第9-10页
·M EMS技术分类	第10-11页
·M EMS技术的应用领域	第11-12页
·非制冷红外探测器概述	第12-16页
·红外探测器的发展历史	第12-13页
·非制冷红外探测器性能比较	第13-14页
·非制冷微测辐射热计红外探测器原理	第14-16页
·MEMS技术在非制冷红外探测器中的应用前景	第16页
·本论文研究背景、工作内容	第16-18页
第二章 非制冷红外探测器中绝热结构的研究	第18-24页
·微测辐射热计中绝热结构的基本理论	第18-20页
·微测辐射热计中绝热结构的重要性	第18-19页
·微测辐射热计中绝热结构设计的理论依据	第19-20页
·微测辐射热计中常用的绝热结构	第20-21页
·微测辐射热计中的绝热方法	第20页
·微测辐射热计中的绝热结构	第20-21页
·微测辐射热计绝热层的设计	第21-23页
·多孔硅材料作为绝热层的提出	第22页
·多孔硅作为绝热层的研究	第22-23页
·多孔硅氧化处理后的绝热性能	第23页
·本章小结	第23-24页
第三章 非制冷红外探测器微结构及制作工艺流程设计	第24-34页
·非制冷红外微测辐射热计的结构设计原理	第24-25页
·微测辐射热计的力学结构设计原理	第24页
·微测辐射热计的热学结构设计原理	第24-25页
·微测辐射热计的绝热层结构设计原理	第25页
·非制冷红外微测辐射热计的工艺流程设计	第25-27页
·微测辐射热计的制作工艺技术	第25-26页
·微测辐射热计的制作工艺流程	第26-27页
·非制冷红外微测辐射热计的版图设计	第27-29页
·微测辐射热计的版图设计规则	第27页
·微测辐射热计的工艺版图设计	第27-29页
·非制冷红外微测辐射热计的制作工艺实施	第29-33页
·微测辐射热计的工艺步骤实施	第29-31页
·微测辐射热计的工艺制作结果	第31-33页
·本章小结	第33-34页
第四章 多孔硅绝热层材料的微观结构及性能研究	第34-50页
·多孔硅概述	第34-38页
·多孔硅的研究历史	第34-35页
·多孔硅的微观结构	第35-36页
·多孔硅的制备方法	第36-37页
·多孔硅的应用前景	第37-38页
·多孔硅的微观结构研究	第38-45页
·多孔硅的制备方法研究	第39-41页
·多孔硅的微观结构与孔隙率的关系	第41-42页
·多孔硅的微观结构与腐蚀电流密度的关系	第42-43页
·多孔硅的微观结构与腐蚀时间的关系	第43-44页
·多孔硅的微观结构与腐蚀液浓度的关系	第44-45页
·多孔硅的微观结构与绝热性能的关系	第45-48页
·多孔硅的传热机理	第45-46页
·多孔硅导热性能的检测方法	第46-47页
·多孔硅的绝热性能与孔隙率的关系	第47页
·多孔硅的绝热性能与厚度的关系	第47-48页
·本章小结	第48-50页
第五章 多孔硅薄膜力学性能分析	第50-64页
·MEMS中微器件机械性能测试	第50-53页
·微机电系统力学性能测试原理	第51页
·纳米压痕测量仪器	第51-52页
·纳米压痕测量方法原理	第52-53页
·纳米压痕法测量多孔硅的力学性能	第53-55页
·纳米压痕法测量多孔硅的硬度和杨氏模量	第53-54页
·多孔硅表面压痕三维拓扑分析图像	第54-55页
·多孔硅显微硬度和杨氏模量分析	第55-59页
·压入深度对多孔硅显微硬度和杨氏模量的影响	第55-57页
·腐蚀电流密度对多孔硅显微硬度和杨氏模量的影响	第57-59页
·多孔硅基氧化钒薄膜力学性能分析	第59-63页
·多孔硅基氧化钒热敏感材料的制备	第59-61页
·多孔硅基氧化钒薄膜力学性能分析	第61-63页
·本章小结	第63-64页
第六章 结论与展望	第64-66页
参考文献	第66-70页
发表论文和科研情况说明	第70-71页
致谢	第71页