| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| ·课题研究背景和意义 | 第9-10页 |
| ·生物芯片常用的基底材料 | 第10-15页 |
| ·国内外生物芯片常用基底材料现状 | 第10-11页 |
| ·微流控芯片材料的选择 | 第11-13页 |
| ·PMMA 材料的结构和性能 | 第13-15页 |
| ·微流控芯片储液池的微细加工技术 | 第15-19页 |
| ·国内外微流控芯片微细加工技术 | 第15页 |
| ·微流控芯片储液池机械加工技术 | 第15-18页 |
| ·微流控芯片储液池的激光加工技术 | 第18-19页 |
| ·小结 | 第19-20页 |
| 第二章 激光加工微流控芯片储液池侧壁粗糙度形成的机理研究 | 第20-35页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·侧壁粗糙度对芯片储液池进样效果的影响 | 第20-23页 |
| ·CO_2激光加工PMMA理论模型 | 第23-26页 |
| ·材料对激光的吸收 | 第23-24页 |
| ·材料内部热传导 | 第24-26页 |
| ·微流控芯片储液池侧壁粗糙度成因分析 | 第26-34页 |
| ·半无限大,有限厚,均匀介质内温度场的分布 | 第26-28页 |
| ·激光作用下材料的熔化与固化 | 第28-32页 |
| ·储液池侧壁粗糙度成因分析 | 第32-34页 |
| ·激光加工方程的建立 | 第34页 |
| ·小结 | 第34-35页 |
| 第三章 激光加工微流控芯片储液池的工艺研究 | 第35-48页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·激光加工PMMA 材料的工艺分析与选择 | 第35-36页 |
| ·激光功率、切割速度和离焦量对侧壁粗糙度的影响 | 第36-42页 |
| ·激光功率对侧壁粗糙度的影响 | 第37-38页 |
| ·切割速度对侧壁粗糙度的影响 | 第38-40页 |
| ·离焦量对侧壁粗糙度的影响 | 第40-42页 |
| ·环境温度和其他因素对侧壁粗糙度的影响 | 第42-47页 |
| ·小结 | 第47-48页 |
| 第四章 微流控芯片激光加工平台的设计和制作 | 第48-54页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·微流控芯片对激光加工平台的产业化要求 | 第48-49页 |
| ·激光加工平台的设计和制作 | 第49-53页 |
| ·小结 | 第53-54页 |
| 结 论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第58-59页 |
| 致 谢 | 第59页 |