Mn-Zn铁氧体薄膜制备与性能研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-29页 |
| 1-1 薄膜电感的发展 | 第10-14页 |
| ·单面薄膜电感 | 第10-14页 |
| ·板上制作的双面耦合薄膜电感 | 第14页 |
| 1-2 薄膜电感器的应用 | 第14-16页 |
| 1-3 薄膜电感用薄膜材料 | 第16-20页 |
| 1-4 尖晶石型铁氧体 | 第20-25页 |
| ·尖晶石型铁氧体分子结构 | 第21-22页 |
| ·尖晶石铁氧体磁性 | 第22-23页 |
| ·含Zn复合铁氧体磁性 | 第23-25页 |
| 1-5 锰锌铁氧体材料的介绍 | 第25-27页 |
| 参考文献 | 第27-29页 |
| 第二章 薄膜制备及性能测试 | 第29-43页 |
| 2-1 薄膜制备 | 第29-34页 |
| ·薄膜制备方法 | 第29-30页 |
| ·溅射原理 | 第30-31页 |
| ·薄膜生长过程 | 第31-32页 |
| ·基片的选择及清洗 | 第32页 |
| ·溅射用靶的制备 | 第32-33页 |
| ·薄膜的制备 | 第33-34页 |
| 2-2 薄膜性能测量 | 第34-42页 |
| ·薄膜厚度，薄膜面积的测量 | 第34-35页 |
| ·薄膜表面形貌观察 | 第35-36页 |
| ·薄膜成分分析 | 第36-37页 |
| ·薄膜结构分析 | 第37-38页 |
| ·薄膜磁性测量 | 第38-39页 |
| ·薄膜的穆斯堡尔谱测量 | 第39-42页 |
| 参考文献 | 第42-43页 |
| 第三章 Mn-Zn铁氧体薄膜性能研究 | 第43-62页 |
| 3-1 Mn-Zn铁氧体薄膜制备 | 第43-45页 |
| 3-2 影响Mn-Zn铁氧体薄膜性能的主要因素 | 第45-50页 |
| ·薄膜的单元层厚度 | 第46页 |
| ·溅射氧分压 | 第46页 |
| ·热处理真空度控制 | 第46-47页 |
| ·热处理温度的控制 | 第47-48页 |
| ·薄膜厚度 | 第48页 |
| ·Mn，Zn含量对性能的影响 | 第48-50页 |
| 3-3 基片对薄膜性能的影响 | 第50-60页 |
| ·磁性 | 第53-54页 |
| ·结构 | 第54-55页 |
| ·表面形貌 | 第55页 |
| ·综合分析 | 第55-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
| 第四章 穆斯堡尔谱分析 | 第62-71页 |
| 4-1 穆斯堡尔谱原理 | 第62-67页 |
| ·穆斯堡尔谱数据分析 | 第67-70页 |
| 参考文献 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
