离子溅射渗金属的研究

第1章 绪论	第1-17页
·热扩渗技术	第10-13页
·概述	第10-11页
·热扩渗理论	第11-13页
·渗金属	第13-15页
·渗金属现状	第13-14页
·离子渗金属	第14-15页
·本课题的主要内容	第15-17页
第2章 离子溅射渗金属技术基础	第17-26页
·离子溅射渗金属的基本原理	第17-18页
·离子溅射渗金属的相关理论	第18-25页
·等离子体	第18-19页
·辉光放电理论	第19-22页
·阴极溅射	第22-24页
·扩散理论	第24-25页
·离子溅射渗金属的主要特点	第25-26页
第3章 纯铜表面离子溅射渗镍研究	第26-44页
·试验材料及方法	第26-27页
·试验材料	第26页
·实验设备及操作过程	第26-27页
·工艺参数的设定	第27页
·渗层的形成过程	第27-31页
·靶面原子的溅射	第27-28页
·溅射粒子的迁移	第28页
·形成与生长过程	第28-31页
·工艺条件对表面形貌的影响	第31-36页
·温度的影响	第31-35页
·气压的影响	第35-36页
·工艺条件对渗层的影响	第36-40页
·对渗层厚度的影响	第37-39页
·对渗层成分的影响	第39-40页
·渗层的不均匀性	第40-42页
·最佳工艺参数的确定	第42-44页
第4章 钢铁表面离子溅射渗镍研究	第44-51页
·钢铁渗镍基础	第44-45页
·试验条件及方法	第45页
·试验材料	第45页
·试验的工艺条件	第45页
·试验结果及分析	第45-49页
·渗层表面形貌	第45页
·渗层组织与成分分析	第45-47页
·渗层形成机理探讨	第47页
·工艺条件对渗层的影响	第47-49页
·钢材渗镍与纯铜渗镍比较	第49页
·前景展望	第49-51页
结论	第51-52页
参考文献	第52-54页
攻读学位期间公开发表论文	第54-55页
致谢	第55-56页
研究生履历	第56页