| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-12页 |
| 1 绪论 | 第12-25页 |
| ·引言 | 第12页 |
| ·全固态紫外激光微加工特点 | 第12-13页 |
| ·国内外全固态紫外激光微加工设备与技术发展概况 | 第13-21页 |
| ·课题来源、课题意义、研究内容、主要创新点和技术路线 | 第21-25页 |
| 2 纳秒脉冲紫外激光与材料相互作用机理 | 第25-31页 |
| ·前言 | 第25页 |
| ·纳秒脉冲激光与固体材料相互作用过程 | 第25-26页 |
| ·双温模型在纳秒脉冲条件下的简化 | 第26-28页 |
| ·纳秒脉冲紫外激光与物质相互作用机理 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 3 多功能紫外激光微加工设备设计、性能及可靠性研究 | 第31-44页 |
| ·前言 | 第31页 |
| ·多功能紫外激光微加工设备设计 | 第31-40页 |
| ·多功能紫外激光加工设备稳定性评价 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 4 紫外激光多层FPC钻盲孔工艺改进与机理研究 | 第44-60页 |
| ·前言 | 第44-45页 |
| ·材料特性和紫外激光作用机理 | 第45-48页 |
| ·紫外激光定点-同心圆扫描结合钻盲孔方式、理论模型和结果 | 第48-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 5 紫外激光刻蚀CCL、FPC研究 | 第60-73页 |
| ·前言 | 第60-61页 |
| ·实验装置、材料与方法 | 第61-63页 |
| ·355NM紫外激光刻蚀CCL、FPC研究 | 第63-71页 |
| ·本章小结 | 第71-73页 |
| 6 紫外激光刻蚀FPC材料数学模型 | 第73-98页 |
| ·前言 | 第73-74页 |
| ·脉冲紫外激光刻蚀加工数学模型模拟过程 | 第74-88页 |
| ·铜箔紫外激光钻孔、刻蚀模拟结果与实验结果对比分析 | 第88-94页 |
| ·FPC金手指紫外激光切割模拟 | 第94-96页 |
| ·本章小结 | 第96-98页 |
| 7 紫外激光精密切割超薄氧化铝陶瓷及质量控制 | 第98-114页 |
| ·前言 | 第98-100页 |
| ·实验装置、材料和方法 | 第100-103页 |
| ·实验结果 | 第103-109页 |
| ·分析与讨论 | 第109-112页 |
| ·本章小结 | 第112-114页 |
| 8 全文总结与展望 | 第114-117页 |
| ·主要总结 | 第114-116页 |
| ·问题与展望 | 第116-117页 |
| 致谢 | 第117-118页 |
| 参考文献 | 第118-126页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表论文 | 第126页 |
